3.3.1 特种气体的相容特性见表1。表中Η代表两种特种气体会发生强烈反应，M代表两种特种气体会发生正常反应，L代表两种特种气体一般不会发生反应。为防止两种气体相遇发生化学反应带来安全危害，本条规定两种气体相遇会发生反应的不相容特种气体不要放在同一个房间，如果设计有困难，特种气体气瓶架的距离在6m以上才能放在同一房间。美国消防协会标准(压缩性气体和低温流体规范》NFPA 55-2016的第7.1.6.2条的主要内容是对不相容特种气体容器、气瓶、储罐布置距离的要求，其中第7.1.6.2.1条内容摘录如下：
    如果采用耐火极限在0.5h以上，高度在1.5m以上的不燃烧材料制成隔离墙时，气瓶之间的距离可以不加限制地减少。
    7.1.6.2.2条内容摘录如下：
    如果一个气瓶柜内封闭了一种气体，应允许6.1m的间距减少到1.5m，如果数个气瓶柜内对两种气体都进行了封闭，应允许该间距无限制地减少。

表1 常见特种气体相容性表

3.3.2 同时具有易燃性和毒性的气体应放在易燃性气体间特种气体房间的条款主要是按照现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的规定，气体的易燃性是防火设计的主要指标，毒性气体系统的设计主要是考虑职业卫生的要求。
3.3.3  气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格靠墙布置是为了便于气瓶的运送和系统的操作，也是电子工厂典型的布置方式。
    由于特种气体间的气瓶柜、气瓶架等设备的外形尺寸较为统一，为了安装、维护、管理的方便，宜靠墙布置，且宜将气体性质相同或相近的设备布置在一起。
3.3.4 为了安装、检修方便和作业人员巡视检查等的需要，本条规定了特种气体间的通道宽度。
3.3.5 液化特种气体设置加热装置是为了便于气体加快汽化速度，保证汽化后气体的压力，同时对有的特种气体减压后产生的二次液化气体进行加热。
3.3.6 液化特气体的磅秤装置用于测量装置内液化特种气体的使用情况，确定更换液化气体储存装置的时间。
3.3.7 本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止剧毒性特气体(如氯气、砷烷、磷烷等气体)发生泄漏时造成人员伤亡事故，最大限度地减少对工厂和周边人员生命健康的影响，迅速防止剧毒性气体扩散，本条规定，剧毒性特种气体供应间应配置专用容器堵漏工具、排风装置和事故状态下的剧毒性特种气体排风处理装置，目的是尽快终止事故的影响。事故排风处理装置包括就地洗涤装置、就地吸收处理装置、中央洗涤装置、房间内喷淋装置等。
    在氯气间室外设置的碱液池，可在紧急状况下，佩戴生命保护系统的工作人员借助工具将泄漏氯气的气瓶推人碱液池。
3.3.8 本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止剧毒化学品被人盗取，造成对社会及人民健康的危害，本条规定，剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、防盗窗和防止人员人侵的技术防范设施。
3.3.9 电子工业生产中使用的硅烷、氨气、氯气等特种气体的使用储存量常常大于危险化学品重大危险源辨识的数量，为此，从安全的角度考虑，规定当特种气体生产储量达到重大危险源的数量时，设计应符合现行国家标准(危险化学品重大危险源辨识》GB 18218的有关规定。
3.3.10 本条主要基于特种气体的自燃性、易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性的特点，从工作人员的生命安全、操作方便、电气设备特性考虑，放置电气控制盘、仪表控制盘的控制室应比邻或靠近特种气体间布置，并且用防火隔墙隔开。