条文说明

6.1.1 本条定义了特种气体管道输送系统的构成部件与要素。
6.1.2 在电子工厂的工程设计中，为使管道走向明晰，便于管理，生产厂房内特气体干管，一般都敷设在技术夹层或技术夹道内。
    由于特种气体多数具有易燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、窒息性等危害特性，本条规定了特种气体管道与水、电气管道的共架布置的原则。
6.1.3 本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止自燃性、易燃性、毒性特种气体泄漏后聚积，引发着火、爆炸事故，本条规定此类特种气体管道在生产厂房洁净室内应明敷。为了防止管道接头松动，减少气体在管道泄漏，进一步规定特种气体管道应采用焊接。美国消防协会标准(半导体生产设施防护标准》NFPA 318-2018第5.7.1条也做了规定，危险化学液体和气体的供应管道应全程焊接。
6.1.4  本条为强制性条文，必须严格执行。为了防止此类特种气体管道穿过生产区墙壁与楼板处的管段气体泄漏后积聚，本条规定特种气休穿过生产区墙壁与楼板处的管道应设置套管，在套管内的管道不应有焊缝。国家标准(《工业金属管道工程施工规范》GB 50235-2010第7.1.5条，现摘录如下：
7.1.5 当工业金属管道穿越道路、墙体、楼板或构筑物时，应加设套管或砌筑涵洞进行保护，应符合设计文件和国家现行有关标准的规定，并应符合下列规定：
    1 管道焊缝不应设置在套管内。
    2 穿过墙体的套管长度不得小于墙体厚度。
    3 穿过楼板的套管应高出楼面50mm。
    4 穿过屋面的管道应设置防水肩和防雨帽。
    5 管道与套管之间应填塞对管道无害的不燃材料。
    为了排除自燃性、易燃性、有毒、腐蚀性等危险气体在机械连接部位可能发生的泄漏气体，本条规定应将这些连接部位设置在排风罩内，如气柜、阀门箱等。
6.1.5 由于不使用易燃性特种气体、毒性特种气体的房间在工程上不会设计与安全相关的排风、气体泄漏报警以及电气防爆装置，易燃性特种气体、毒性特种气体管道穿越这类房间后，将可能发气体泄漏，引发着火、中毒事故。有时为减少管道的长度及便于布置，必须穿越时应设套管或使用双层管。
6.1.6 本条规定特种气体管道不宜出现不易吹除的盲管等死区，避免U形弯。这是为了防止在特种气体管道启用、维修时有效吹扫置换管道中的残留气体或其他杂质。
6.1.7 为防止静电积聚，引发着火事故，本条规定易燃性特种气体、氧化性特种气体管道，应设置导除静电的接地设施。
6.1.8 为了防止特种气体泄漏发生聚集，并方便检修，本条规定特种气体管道宜架空布置。