特种气体系统工程技术标准 GB50646-2020
附录B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体）
表B 电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气体)
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本附录为电子工业用特种气体的主要物化性质(单一气 体 )，本附录的内容在一些工程公司的实际工作中得到使用，作为推荐性内容提供给使用者。
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