薄膜太阳能电池工厂设计标准 GB51370-2019
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4.2 基本工序

4.2.1 薄膜太阳能电池工厂的生产加工工序可按附录A所列工艺流程确定。
4.2.2 薄膜太阳能电池工厂应配置辅助生产设施。
4.2.3 以下辅助生产工序可采用外部协作方式实现:
    1 生产设备的大修,仪器仪表的校验;
    2 生产工艺过程需使用的工具、夹具、模具的制作和修理;
    3 原辅材料及成品的厂外运输;
    4 洁净服的清洗;
    5 废液、废玻璃和其他固体废弃物的回收处理。
条文说明
4.2.1 附录A是根据薄膜太阳能电池生产典型的产品类型和技术路线提出的,其中内容基本反映了目前薄膜太阳能电池生产的主要流程和工序,可以作为初步确定生产环境要求和动力需求的基础。该流程中未包括批量生产所必需的检验和测量工序,以及针对特定产品结构所需的特定加工工序(如CdTe沉积工序后边通常有热处理工序)等。
    另外,即使是同一类太阳能电池也常存在不同的技术路线。如铜钢镓硒太阳能电池常见的真空工艺方案就包括共蒸镀(一步法)、溅射金属预制层再硒化、硫化(两步法),而非真空工艺也有电镀或合成技术(纳米技术)、印刷涂布技术等,而且随着薄膜电池技术的不断发展,这些工艺路线也在不断地发展完善。因此,在项目设计中工艺设计人员需以附录A为基础,仔细了解具体项目的产品和工艺路线,制定出适合项目的工艺流程。
    需要注意的是,砷化镓薄膜太阳能电池面积较小,不需要进行大尺寸背板的层压和装框等工序,附录A图A(d)中所示的后段工序流程不适用于砷化镓薄膜太阳能电池。
4.2.2 薄膜太阳能电池工厂生产需要用到较多的动力和相关的配套设施,除了变配电、空调机房、冷却循环水站、废水处理站、大宗气站、特气站、冷冻站等动力站房之外,其他常见的技术服务部门还包括车间办公、休息、更衣、参观、原辅材料暂存、检测、质量、检修、消防值班等。
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