薄膜太阳能电池工厂设计标准 GB51370-2019
8.3 特种气体供应
8.3.1 特种气体宜采用瓶装气体供应，在厂区内应设置储存、分配系统。
8.3.2 特种气体应根据危险性质和存储数量设置独立的气瓶间。
8.3.3 厂房内自燃、易燃、腐蚀性或有毒特种气体输送系统的设置，应符合下列规定：
1 特种气体钢瓶应设置在具有连续机械排风的特种气体钢瓶柜中；
2 排风系统、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；
3 特种气体分配系统设置支管或供应多台生产设备使用时，应设置阀门箱或多路阀门箱。
8.3.4 特种气体分配系统应符合下列规定：
1 设置吹扫盘；
2 设置紧急切断装置；
3 设置过流量控制装置；
4 不相容特种气体不得共用吹扫氮气源。
8.3.5 特种气体系统的设计应符合现行国家标准《特种气体系统工程技术规范》GB50646的有关规定。
条文说明
8.3.3 本条是强制性条文，必须严格执行。自燃、易燃、腐蚀性或有毒特种气体对安全生产、人身健康具有极大的危害，因此对其设置进行强制性规定：
1 危害性特种气体钢瓶设置在具有连续机械排风的特种气体钢瓶柜中，可以保证特种气体不会外泄至厂房内，也有利于在特气柜内设置气体泄漏检测报警系统、手动或自动切换系统、供气自动切断系统及自动吹扫设施。
2 对于危害性特气系统的排风系统、泄漏报警、自动切断阀这类安全设施，在市电中断的情况下也应确保其正常运转，因此应为其配套设置应急电源。
3 自燃、易燃、腐蚀性或有毒特种气体管道设置支管或歧管的部位是易于产生泄漏的重点部位，在该部位设置阀门箱不仅便于设置阀门、也便于对阀门箱设置排风系统、气体泄漏检测装置以防止气体泄漏进入生产区域。
8.3.4 本条规定了特种气体分配系统中应采取的安全措施。本条是强制性条文，必须严格执行。
1 设置吹扫盘是为了保证特种气体分配系统在吹扫作业过程的规范、安全和可靠。
2、3 过流量控制装置及紧急切断阀的设置可以保证在特气分配系统一旦发生泄漏时，能及时发现并切断气体供应，避免发生安全事故。
4 不相容特种气体共用吹扫氮气源时，可能发生特种气体通过吹扫源渗透并发生剧烈反应，从而导致安全事故。因此严禁不相容特种气体共用吹扫氮气源。
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