薄膜太阳能电池工厂设计标准 GB51370-2019
9.1 一般规定
9.1.1 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室型式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。
9.1.2 洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求、洁净室空间尺寸以及技术经济比较结果确定。
9.1.3 生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安全卫生有影响的净化空气调节系统应分开设置。凡属下列情况之一时,净化空气调节系统宜分开设置:
1 温湿度基数和允许波动范围差别大的洁净室;
2 净化空调系统和一般空调系统;
3 室内工艺设备发热、散湿量相差大的洁净室;
4 采用不同型式的洁净室。
9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两款中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和;
2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m³。
9.1.5 洁净室与周围空间的静压差应符合下列规定:
1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa;
2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa;
3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。
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