5.2 纯水回收
5.2.1 纯水回收设计应与电子产品生产工艺设计密切配合，并应根据工程实际情况、回收水质、水量，结合当前的技术、经济条件等合理确定回收率，并宜符合下列要求：
1 应用于集成电路生产的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于75％。
2 应用于集成电路封装测试生产线的纯水系统，其背面减薄废水和划片废水应予回收利用。
3 应用于TFT-LCD生产线的超纯水系统，其纯水回收率不宜低于50％。
5.2.2 经管路系统收集的用后纯水应连续检测其电导率、pH值和TOC，当检测值符合回用要求时，应予以回用；不符合回用要求时，应将其排放至废水处理系统。
5.2.3 回收水处理系统流程的拟定和设备的选择，应根据工程的 具体情况、回收水水质、水量以及处理后的用途等因素综合确定。当不能取得回收水水质资料时，可按已建同类工程经验或经科学实验后确定。
5.2.1 随着社会的急速变迁和科学技术的不断进步，对节水工作的简单定性评估已经不能满足需要，如何确定一个科学而且合理的定量指标来反映出建设项目的用水情况和用水效率，是指导合理化用水和高效用水的重要一环。回收率是用于评价电子工业建设项目用水效率的重要指标。当一个建设项目的工艺流程、产量和员工人数确定后，其总用水量通常变化不大，要减少对新鲜水的使用就必须提高回用率。
必须注意的是，在本规范中所规定的是直接与工艺生产相关的工艺用水回收率，而非全厂用水回收率。事实上在工程项目中，全厂高的回收率才是工程设计优化的终极目标。因此电子工业纯水系统的设计不应仅仅局限于纯水系统的设计来考虑节水，设计人员必须要有全局观，站在整个工程建设项目的高度来统一规划全厂的用水系统，根据用后纯水的水质和水量，结合目前成熟可靠的工程技术和经济条件，尽可能地做到水的循环利用和重复使用，实现高效率的一水多用，达到真正的高效用水的效果。
不同类型的工厂其用水特性往往不一样，用水标准也不一样，节水潜力也各有差异。因此，规范根据对目前国内已经建成投产的相关建设项目的调查结果，结合目前国内外同类工程的实际运行结果，对几类用水量大的电子产业的工艺用水回收率进行了规定，用以指导和规范电子工业纯水系统节水的设计。
5.2.2 纯水作为清洗用水经过工艺生产设备使用后，如何有效做到“清污分流”，选择收集低污染度的清洗废水作为纯水制备的原水或其他次级用水的原水，是实现纯水系统和全厂高回用率的关键所在。用后纯水的重复利用，既要达到高的回用率，同时也必须保证工艺设备的用水安全，因此确定回收水水质对纯水系统设计影响巨大。回收水水质必须根据回收系统的处理工艺和处理能力来确定。在设计初期必须做好相关的技术评估工作，既要确定可供安全回收的回收水水质，也必须考虑到回收水水质变化对纯水系统的影响和冲击。本条款是根据对目前建成项目的调研结果，对相关产业的回收水水质给予规定。
