洁净厂房施工及质量验收规范 GB51110-2015
C.13 大粒子的测试
C.13.1 对洁净室(区)内粒径大于5μm的大粒子的测试,可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。
C.13.2 大粒子的测试,宜采用过滤法、粒子计数器计数法等进行测量,其采样点、采样流量可按本规范第C.1节的要求进行。
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