集成电路封装测试厂设计规范 GB51122-2015
6.2 工艺循环冷却水系统
6.2.1 工艺循环冷却水系统应根据生产工艺要求的水温、水压条件进行设置。当水温、水压要求不同时宜分开设置。
6.2.2 工艺循环冷却水系统的设置应符合下列规定:
1 水泵宜采用变频调速控制;
2 循环系统应设置备用泵,供水能力不应小于最大一台运行水泵的额定供水能力。
6.2.3 工艺循环冷却水系统应设置过滤器及灭菌装置,过滤器宜备用,过滤精度应根据工艺设备对水质的要求确定。
6.2.4 工艺循环冷却水系统的换热设备宜设置备用机组。
6.2.5 循环水箱的有效容积不宜小于小时循环水量的10%,且应设置水位报警装置和自动及应急补水系统。
6.2.6 工艺循环冷却水系统管道的设置应符合下列规定:
1 管道应设置泄水阀、排气阀和排污口;
2 工艺冷却水管道材质宜采用不锈钢管、给水UPVC管或聚丙烯PP管;
3 管道附件与阀门材质宜与管道相同;
4 采用不同金属材料的管道和支架时,管道和支架间的隔垫应采用绝缘材料。
6.2.7 工艺循环冷却水系统应设置水质稳定处理装置。
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