多晶硅工厂设计规范 GB51034-2014
7.4 导热油
7.4.1 导热油产品型号应根据最高使用温度、价格及使用寿命技术经济比较后确定。
7.4.2 导热油加热系统设计应符合现行行业标准《导热油加热炉系统规范》SY/T 0524的有关规定,并应靠近主要的负荷中心区,管线布置应短捷。
7.4.3 厂区管网宜架空敷设,管道宜利用自然弯曲补偿管道热伸长。
条文说明
7.4.2 多晶硅生产系统中三氯氢硅氢还原、还原尾气干法回收、氯硅烷提纯、三氯氢硅生产等工序都有可能选择导热油作为热源,当多个生产工序选择导热油为热源时,为减少导热油输送过程中的热量损失,导热油加热系统应靠近热量需求较大的主要负荷区。
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