9.3 废水处理

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9.3.1 废水处理应遵循节水优先、分质处理、优先回用的原则。

9.3.2 废水处理设施的位置应满足工艺总体布局要求。

9.3.3 废水处理设施应根据工艺生产排出的废水种类、浓度及水量确定，处理后的出水水质应符合国家和地方的有关排放要求。

9.3.4 高浓度含氟废液必须采取预处理措施。

9.3.5 距废水处理设施构筑物的10m～50m的区域宜设置地下水监测点。

条文说明

9.3.1 处理后废水应优先回用至尾气淋洗工艺，多余部分外排。

9.3.2 多晶硅工厂产生的生产废水主要为尾气淋洗废液，废液处理设施尽量与尾气淋洗设施就近设置，同时考虑处理用药剂及产生污泥的运输。

9.3.4 本条是强制性条文。硅料清洗产生的含氟废酸氟含量偏高，腐蚀性强，在处理时应采取措施防止液体泄漏及氢氟酸挥发至大气中，造成污染，故应单独处理。同时单独处理含氟废酸，可减少处理药剂用量，保证整个工厂处理排水最终达标排放。此部分废液可先单独预处理后再与其他生产废水混合处理。

9.3.5 废水调节池、尾气淋洗水解池等泄漏时，会对地下水造成污染，宜在地下水下游设置1处检测点，监测地下水酸碱度(pH值)，氯、氟及溶解盐等污染物的含量。

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