电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014
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附录A 纯水系统主要测试项目

表A  纯水系统主要测试项目

    注:1  检测方法根据纯水水质的要求,结合检测方法的灵敏度、准确度、重现性、操作性、分析速度以及费用综合评判选择;

        2  IC检测:离子色谱法(Ion Chromatography);GFAAS检测:石墨炉原子吸收法(Graphite Furnace Atomic Absorption Spectrophotometry);ICP-AES检测:电感耦合等离子体发射光谱分析法(Inductively-Coupled Plasma Atomic Emission Spectroscopy);ICP-MS检测:电感耦合等离子质谱法(Inductively-Coupled Plasma Atomic Mass Spectroscopy)。

条文说明

    表A  电子工业纯水系统的主要测试项目包括过程测试项目及最终产水的指标测试。表中的第1项~第15项为最终产水常见的主要测试项目,第16项~第27项为纯水制造过程中常见的测试项目,即过程测试项目,而第1项、第28项~第30项,在纯水系统的过程测试中及最终产水的指标测试均会涉及,设计文件或合同中均会有明确规定。

    具体到某个系统所需测试的项目根据建设项目的工艺要求及纯水处理工艺流程的不同会有所不同,在设计文件或合同中有明确规定。表A检测方法栏所列的检测方法应根据纯水水质的要求,结合检测方法的灵敏度、准确度、重现性、操作性、分析速度以及费用综合评判选择。合同中有约定的,应根据合同的要求选择。

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