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11.5.1 氮气供应宜采用变压吸附工艺制备,制氮设备宜靠近压缩空气供应系统设置。
11.5.2 氮气的供气压力和纯度应符合工艺生产要求,氮气质量参数应符合表11.5.2的规定。
表11.5.2 氮气质量参数
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