7.2 给排水
7.2.1 给排水系统应满足生产、生活、消防以及环保等要求，并应根据水质、水压、水温要求分别设置。
7.2.2 在存储及使用化学品且同时存在化学品泄漏风险的区域，应设置紧急淋浴器和洗眼器。
7.2.3 纯水制备系统规模和纯水水质应根据生产工艺要求确定。
7.2.4 生产废水处理系统应根据废水污染因子种类、水量、当地废水排放要求等设置分类收集、处理的废水处理系统。废水处理应遵循节水优先、分质处理、优先回用的原则。
7.2.5 腐蚀性废水有压管道在穿越人员密集区域时应采用双层管道。
7.2.6 生产废水系统应设置调节池，连续处理系统的调节池容积不宜小于4h排放量，间歇处理系统的调节池容积不应小于1个处理周期的排放量。
7.2.7 工艺冷却循环水系统水质应符合工艺要求。
7.2.8 生产厂房消火栓系统设计应符合现行国家标准《消防给水及消火栓系统技术规范》GB 50974的有关规定。
7.2.9 生产场所应配置灭火器，并应符合现行国家标准《建筑灭火器配置设计规范》GB 50140的有关规定。
7.2.10 洁净区内宜选用对工艺设备和洁净区环境不产生污染和腐蚀作用的灭火剂。
7.2.11 洁净区内通道宜设置推车式二氧化碳灭火器。
7.2.1 由于生产、生活用水对水质、压力要求不同，消防给水仅在火灾时使用，因此，根据各自不同的使用特点，分别设置系统。
7.2.2 在可能产生化学品泄漏的区域设置紧急淋浴器和洗眼器，降低化学品泄漏对操作人员的危害程度。
7.2.3 微波集成组件生产过程中需使用纯水作为清洗用水，纯水制备系统需根据生产工艺的要求合理制定制备系统规模和水质。
7.2.4 微波集成组件生产废水主要为清洗废水，清洗废水的回用技术已经十分成熟，该种废水的收集和回用不仅提高了资源利用率，同时也降低了废水处理系统的投资及运行费用。因此，分类收集既是提高废水处理效率的需要，也是提高全厂水系统回用率的需要。
7.2.5 腐蚀性废水有压管道发生渗漏时，会出现大量腐蚀性废水外泄，因此，在穿越人员密集区域时采用双层管道输送，即使内层管道发生渗漏，渗漏废水仍可以被外层管道有效收集和监测，并引至安全区域，避免腐蚀性废水泄漏而造成的伤害。
7.2.9 现行国家标准《消防给水及消火栓系统技术规范》GB 50974对不同火灾危险分类和建筑高度的场所消火栓设计作出明确规定，设计过程中要根据微波集成组件生产厂房的具体特点，严格执行现行国家标准《消防给水及消火栓系统技术规范》GB 50974的规定。自动喷水灭火系统是有效灭火设施之一。一旦发生火情，喷头及时开启出水，可以有效地控制火情并扑灭火灾。
7.2.10 灭火器是扑灭初期火灾的有效手段，为防止灭火器误喷而造成洁净室环境污染，洁净室内所用灭火器通常都采用二氧化碳作为灭火剂。但是按相关规范设置级别所布置的手提式二氧化碳灭火器通常较重，不便于使用，所以通道上尽量设置推车式二氧化碳灭火器以方便使用。
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