6.1 一般规定

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6.1.1 洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。

条文说明

6.1.1 通过多年的使用，实践证明使用压力范围为1MPa以下的压力管道系统，能够满足洁净室工艺要求。

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