洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
8.3 管道与部件
8.3.1 化学物料的输送管道及部件的材料,应符合设计要求,当设计未明确要求时,有机溶剂的管道宜用低碳不锈钢管,酸、碱类管道宜用聚四氟乙烯(PFA)管,并应要求设计方确认。
8.3.2 阀门材料应与管道材质一致。阀管间垫片宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯。
8.3.3 在非金属管道中输送有腐蚀性、易燃性的化学物料时,必须采用保护套管,保护套管可用透明的聚氯乙烯(PVC)管;输送易燃性的化学物料时,可用熔点高于1100℃的金属套管。
8.3.4 化学物料输送管道安装完成后,应关断通往容器阀门、卸下管中过滤器与流量计等附件,然后采用与洁净室洁净度匹配的于燥压缩空气、纯氮吹净,再用纯净水清洗。
条文说明
8.3.1、8.3.2 条文指明化学物料宜用的管材、管件。
8.3.3 为防非金属管破损,必须用套管。
8.3.4 管道清洗时为避免损坏附件,必须卸下附件再清洗。
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