E.4 微粒计数浓度的检测

E.4.1  室内检测人员应控制在最低数量，不宜超过2人，面积超过100m2又需快速完成测定任务时，可适当增加人数。人员必须穿洁净服，应位于测点下风侧并远离测点，动作要轻，保持静止。

E.4.2  0.1μm至5μm微粒的检测应符合以下要求：

1  当采用光学粒子计数器(OPC)测定0.1μm至5m的微粒计数浓度时，应按本规范第16.4.5条第1款给出的公式计算空气洁净度级别。粒子计数器粒径分辨率应小于等于10％，粒径设定值的浓度允许误差应为±20％，并应按所测粒径进行标定，符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T6167的规定。

2  测点数可按式(E.4.2—1)求出：

3  每一受控环境的采样点不宜少于3点。对于洁净度5级及优于5级以上的洁净室，应适当增加采样点，并得到用户(建设方)同意并记录在案。

4  采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作区高度(取距地0.8m，或根据工艺协商确定)，当工作区分布于不同高度时，可以有1个以上测定面。

乱流洁净室(区)内采样点不得布置在送风口正下方。

5  如建设方要求增加采样点，应对其数目和位置协商确定。

6  每一测点上每次的采样必须满足最小采样量。最小采样量根据“非零检测原则”由下式求出：

7  每点采样次数应满足可连续记录下3次稳定的相近数值，3次平均值代表该点数值。

8  当怀疑现场计算出的检测结果可能超标时，可增加测点数。

9  测单向流时，采样头应对准气流；测非单向流时，采样头一律向上。

10  当要求0.1μm～5μm微粒在采样管中的扩散沉积损失和沉降、碰撞沉积损失小于采样浓度的5％时，水平采样管长度也应符合附录D.3.6条的规定。

11  若采样口流速与室内气流速度不相等，其比例应在0.3：1～7：1之间。

12  当因测定差错或微粒浓度异常低下(空气极为洁净)造成单个非随机的异常值，并影响计算结果时，允许将该异常值删除，但在原始记录中应注明。

每一测定空间只许删除一次测定值，并且保留的测定值不少于3个。

13  对于需要很大采样量、耗时很大的某粒径微粒的检测，可采用顺序采样法，即将每次测定结果标注于图E.4.2上，当标注点落入不合格区时，即停止检测，结果为不达标；当标注点落入合格区时，停止检测，结果为达标；当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量已达到表E.4.2—2的最小采样量，累计微粒数仍小于20，即停止检测，结果为达标；当标注点一直在继续区中延伸，而总采样量未达到最小采样量，但累计微粒数已超过20，即停止检测，结果为不达标。

E.4.3  对小于0.1μm的超微粒的检测，应采用适合这类微粒具体特性的采样装置组合使用。可采用凝结核计数器(CNC或CPC)加静电式分级器(迁移率分析仪)  (DMA)、凝结核计数器(CNC或CPC)加扩散式分级器(DB)等，但必须有明确的性能说明书，或有自检报告，对所测超微粒的最低粒径的计数效率应达到50％，采样点数目应与E.4.2条对0.1μm～5μm的要求相同。

E.4.4  大于5μm的大(宏)微粒的检测应符合下列要求：

1  用光学粒子计数器检测时应遵守下列规定：

1)粒子计数器应经过大微粒的标定，符合现行国家标准《尘埃粒子计数器性能试验方法》GB/T 6167的规定，对洁净室为6级或优于6级的洁净室的测定，应采用不小于28.3L/min的计数器，对其他级别洁净室的洁净度应采用不小于2.83L/min的计数器；

2)当用28.3L/min计数器时，水平管不应长过0.5m，当用2.83L/min计数器时，原则上不宜有水平管；

3)采样口面积应按等速采样原则确定，室内风速取平均风速。

2  用过滤器采集、显微镜检测时，应遵守下列规定：

1)过滤器为孔径应小于等于2μm的滤膜。当过滤器采样口直径为25mm时，真空泵采样流量不小于7L/min，

当过滤器采样口直径为47mm时，采样流量不小于28.3L/min。对于非单向流洁净室，总采样量不小于28.3L/min，对于单向流洁净室，总采放量不小于280L/min。

取下滤膜，将滤膜放在清洁的盖玻片上(图E.4.4)，采样面向上，放进有50℃左右丙酮蒸汽的烧杯内熏蒸。对容积为600mL的烧杯，大约加入15mL丙酮，当做过3次样片时，再加入15mL丙酮，待滤膜透明后取出，再将盖玻片反向固定在载物片上(用铝箔圈或纸圈将盖玻片与载物片隔开)，熏后在盖玻片四周用膜或蜡封住。

2)计数时应把制好的标本片固定在显微镜(100倍)工作台的适合位置上，一张标本片上计数总面积不小于0.02×4mm2，在检测中应不断调整。

3)测定之前，必须先测出使用的同一批滤膜的基数密度，最后的计数浓度由下式得出：