洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
E.9 表面导静电性能的检测
E.9.1 地面、墙面和工作台面等表面导静电性能的检测环境温度应在15℃~35℃之间,相对湿度在45%~70%。
E.9.2 地面、墙面和工作台面等表面导静电性能应采用符合精度要求的高阻计检测。
E.9.3 在表面上人活动区域选定的一组2点间或几组2点间检测,可选用图E.9.3的测试装置。
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