洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
G.1 原理
G.1.1 保持室内为正压或负压均能满足检验要求,但条件允许时,负压洁净室宜用正压检验,正压洁净室宜用负压检验。
G.1.2 可按以下方法进行检测:
1 压力衰减法
使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系统,观察压力随时间衰减的情况,记录下压力衰减到起始压力的一半时所用的时间,即为测量室内正压或负压的半衰期。
2 恒压法
使室内达到某一正压,同时向室内补气,使室压达到要求的稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压,使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。
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