2.1 术语
2.1.1 化学品系统 chemical system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品系统的统称。
2.1.2 化学品供应系统 chemical supply system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品供应系统管道与设备的统称。
2.1.3 化学品回收系统 chemical reclaiming system
电子工厂中酸碱化学品、溶剂化学品、研磨液化学品回收系统管道与设备的统称。
2.1.4 化学品槽车 chemical lorry
电子工厂中用于运送大用量化学品的专业车辆。
2.1.5 化学品桶槽 chemical container
电子工厂中用于储存化学品的小容积容器，放置在化学品储存、分配间的化学品单元内部。
2.1.6 化学品储罐 chemical storage tank
电子工厂中用于储存化学品的大容积容器，固定布置在化学品储存、分配间内。
2.1.7 阀门箱 valve manifold box(VMB)
指化学品通过供应管道可同时供应两台或以上的生产设备的阀门操作箱。
2.1.8 分支阀箱 tee box(TB)
化学品供应系统中供应两个或以上的阀门箱的管道分配箱。
2.1.9 扩充阀箱 future tee box(FTB)
化学品供应系统中用于系统扩充的设置于系统末端的阀箱。
2.1.10 取样阀箱 sampling box(SB)
指化学品管道上用于化学品取样的阀门箱体。
2.1.11 泄漏探测器 leakage detector
用于探测化学品单元、化学品储罐及化学品阀门箱等设备发生化学品泄漏并给出信号的装置。
2.1.12 化学品监控系统 chemical monitor and control system
用来对化学品供应系统，化学品回收系统实现监控、显示、报警、数据收集等功能的远程监控系统。
2.1.13 化学品稀释单元 chemical dilution unit
电子工厂的化学品系统中用纯水稀释高浓度化学品设备的统称。
2.1.14 化学品混合单元 chemical mixing unit
电子工厂的化学品系统中作为混合两种或以上化学品设备的统称。
2.1.15 化学品补充单元 chemical charge unit
槽车的化学品系统备用供应设备。
2.1.16 化学品供应单元 chemical transfer unit
向电子工厂工艺系统供应化学品的设备。
2.1.17 化学品单元 chemical unit
化学品供应系统中化学品补充单元、化学品稀释单元、化学品混合单元、化学品供应单元等柜体的统称。
2.1.18 化学品储存、分配间 chemical storage distribution room
电子工业生产厂房或独立建(构)筑物内用于布置化学品储存、分配设备与系统的房间的统称。
2.1.19 液位探测器 level sensor
用于探测化学品储罐、化学品单元内桶槽的液位的测量元件。
2.1.20 火焰探测器 ultraviolet rays & infra-red rays(UV/IR)
可燃溶剂化学品发生泄漏起火时，探测所产生红外线或是紫外线的辐射热感应装置。
