电子工厂化学品系统工程技术规范 GB50781-2012
3.4 设备与管道材质
3.4.1 化学品供应系统与介质接触的储罐、桶槽、管道、管道附件应采用不与化学品产生反应,并不向化学品介质渗透微量物质的材质,系统材质的选用应符合表3.4.1的规定。
3.4.2 酸碱类、腐蚀性溶剂类化学品管路中的阀门密封,应采用PFA或PTFE材质,溶剂化学品管路中的阀门密封材料应采用不与输送介质发生反应的材质。
3.4.3 酸碱类化学品的主供应管道应采用内管PFA、外管C-PVC的双套管,隔膜阀应采用PFA材质。非腐蚀性溶剂化学品的主供应管道应采用SUS316LEP管,腐蚀性溶剂化学品的主供应管路应采用内管PFA、外管SUS304的双套管,隔膜阀应采用SUS316L。
条文说明
3.4.1 根据常识,化学桶槽、储罐、管道、管道附件的本体或内壁应采用不与化学品起反应的材料,本节中的推荐材料为目前电子工业化学品供应系统较为常用的材料,随着材料技术的不断进步及相关人员技术水平的不断提高,新的材料一定会不断出现,因此,本节中推荐的材料仅供设计、安装及业主参考。
3.4.2 化学品供应管道上的阀门密封材料的选择所遵守的基本法则就是与输送的介质不发生化学反应,而PFA或PTFE材质是目前较为广泛使用的密封材料,条文中予以推荐采用。
3.4.3 化学品管道材料的选择所遵守的基本法则就是储存与输送的介质不应该与其发生化学反应,在美国消防协会颁布的NFPA 318《洁净室防护标准》第5.2.6条的例外说明:“易燃液体的加压输送系统容许用非金属管道输送,但是必须置于熔点高于1093℃(2000°F)的金属制造的外壳内”。
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