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电气火灾痕迹物证技术鉴定方法第7部分:EDS成分分析法 GB/T16840.7-2021

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5 仪器设备

5.1 扫描电子显微镜

分辨率3.0nm（30kV）；检材条件较好时，其有效放大倍率为20倍~100000倍。

5.2 X射线能谱仪

在MnK_α处的分辨率高于133eV（计数率为2500cps时），元素分析范围为₄Be~₉₂U。

5.3 其他所需设备

超声波清洗机、离子溅射仪、精密切割机、超薄切片机、干燥箱。

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