7.1 洁净技术

7.1.1 洁净室 clean room(CR)
    空气悬浮粒子浓度受控的房间。
7.1.2 洁净区 clean zone
    空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
7.1.3 人身净化用室 room for cleaning human body
    人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
7.1.4 物料净化用室 room for cleaning material
    物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
7.1.5 粒径 partical size
    由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
7.1.6 悬浮粒子 airborne particles
    用于空气洁净度分级的空气中，尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子。
7.1.7 超微粒子 ultrafine particle
    当量直径小于0.1μm的粒子。
7.1.8 微粒子 microparticle
    当量直径大于5μm的粒子。
7.1.9 粒径分布 particle size distribution
    粒子粒径的频率分布和累积分布，是粒径的函数。
7.1.10 含尘浓度 particle concentration
    单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
7.1.11 洁净度 cleanliness
    以单位体积空气中某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
7.1.12 洁净度等级 cleanliness class
    洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。
7.1.13 空态 as-built
    设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员的洁净室状态。
7.1.14 静态 at-rest
    设施已建成，生产设备已安装并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员的洁净室状态。
7.1.15 动态 operational
    设施以规定的状态运行，有规定的人员在场并在商定的状况下进行工作的洁净室状态。
7.1.16 气流流型 air pattern
    室内空气的流动形态和分布。
7.1.17 单向流 unidirectional airflow
    沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。包括垂直单向流和水平单向流。
7.1.18 非单向流 non-unidirectional airflow
    凡不符合单向流定义的气流。
7.1.19 混合流 mixed airflow
    单向流和非单向流组合的气流。
7.1.20 洁净工作区 clean working area
    除工艺特殊要求外，洁净室内距离地面高度0.8m～1.5m的区域。
7.1.21 空气吹淋室 air shower
    利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。
7.1.22 气闸室 airlock
    设置在洁净室出入口，阻隔室外或相邻房间的污染气流和控制压差的缓冲间。
7.1.23 传递窗　passbox
    在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。
7.1.24 洁净工作台 clean bench
    能保持操作空间所需洁净度的工作台。
7.1.25 洁净工作服 clean working garment
    为把工作人员产生的粒子限制在最低程度所使用的发尘量少的洁净服装。
7.1.26 高效空气过滤器 high efficiency particulate air filter(HEPA)
    在额定风量下，最易穿透粒径的效率在99.95％以上且气流初阻力在220Pa以下的空气过滤器。
7.1.27 超高效空气过滤器 uhra low penetration air filter(ULPA)
    在额定风量下，最易穿透粒径的效率在99.9995％以上且气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。
7.1.28 微环境 minienvironment
    将产品生产过程与操作人员、污染物进行严格分隔的隔离空间。
7.1.29 风机过滤器机组 fan filter unit(FFU)
    由高效空气过滤器或超高效空气过滤器与风机组合在一起，自身可提供动力的末端空气净化装置。
7.1.30 检漏试验 leakage test
    检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等密封性的试验。
7.1.31 自净时间 cleanliness recovery characteristic，self-cleaning time
    洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至洁净室恢复到稳定的室内洁净度规定等级的时间。又称清洁恢复特性。
7.1.32 技术夹层 technical mezzanine
    洁净厂房中用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等，以水平构件分隔构成的空间。
7.1.33 技术夹道 technical tunnel
    洁净厂房中用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等，以垂直构件分隔构成的廊道。
7.1.34 技术竖井 technical shaft
    洁净厂房中用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等，主要以垂直构件分隔构成的井式管廊。