6 洁净工程

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6.1 一般规定
6.2 高效过滤器扫描检漏
6.3 生物洁净室微生物检测
6.4 洁净室微振检测
6.5 围护结构表面导静电性检测
6.6 洁净室气流检测
6.7 非单向流洁净室自净能力检测
6.8 围护结构严密性检测
6.9 围护结构防渗漏检测

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