5.1 测试仪器

5.1.1 高阻测试仪
    测量范围0～1×10¹²Ω，测量精度高于10%。
5.1.2 静电电压表
    输入阻抗大于1×10¹²Ω的静电电压表或人体电位测试仪。
5.1.3 记录仪
    记录仪误差小于0.5%，响应时间为0.2s。
5.1.4 直流电源
    输出电压0～2000V连续可调，波动系数不大于±0.2%。
5.1.5 湿度计
    精度为1%。

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