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7 方法步骤
7.1 用扫描电子显微镜确定要分析的孔洞内表面位置。
7.2 用电子束扫描成像，放大倍数宜选择在100倍～200倍。
7.3 将俄歇电子能谱仪设置初级电子能量3000eV、初级电子束流0.5μA、初级电子束直径小于2μm；测量弹性峰时，入射电子能量（Ep）小于或等于2000eV，倍增器高压用1000 V；测量俄歇信号时，Ep可用3000eV、5000eV或10000eV，倍增器高压用1500V以上，脉冲计数方式，倍增器高压可用到2500V；对选好的分析点进行定点分析。
7.4 分析时应随时调节被分析检材的孔洞位置，确保分析点处于分析器的最佳工作点上。
7.5 应及时调整检材的分析点到分析器间的距离，以保证获得尽可能大的俄歇信号。
7.6 为保证结果可靠，减少统计误差，在有限的检材中，应分析尽可能多的孔洞。
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