6 检材的制备

6.1 所分析的检材应为稳定的固体，在真空及电子束轰击下不挥发、不变性，无放射性和腐蚀性，适用于高、低真空条件下观察。

6.2 根据扫描电子显微镜检材室的大小，截取检材上预观察、分析的部位；对于较小的、易破坏的痕迹，应使用精密切割机在低转速下进行切割。

6.3 截取的检材，应保持其来样状态，保持干燥、避免腐蚀，其被观察、测试部位不应与其他检材相接触。

6.4 用酒精擦拭或用超声波清洗机进行表面清洗，清除检材表面附着的污染物并晾干表面的水分。

6.5 将清洗过的检材用导电胶或橡皮泥固定在检材杯（台）上，放于扫描电子显微镜检材室内待检。

6.6 对于非导体检材的表面，可使用离子溅射仪在检材表面镀一层导电膜，如金膜、铂膜或碳膜等。

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