5 仪器设备

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变小

变大

底色

5.1 扫描电子显微镜
5.1.1 分辨率
SEM的分辨率能力应高于10nm。
5.1.2 放大倍率
SEM的放大倍率应为20倍～100000倍之间。
5.2 其他所需设备
超声波清洗机、金刚石切割机、离子溅射仪、鼓风干燥箱等。

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