6 试样制备

6.1 截取要求
6.1.1 应保护尚存待分析表面的完整性。
6.1.2 应保持样品干燥，避免腐蚀及氧化。
6.1.3 应对测表面进行保护，防止污染。
6.2 样品的制备
6.2.1 样品应保持其原始状态，先不做清洗，使要观测的原始结构和成分没有变化。
6.2.2 必要时用酒精或超声波清洗机对样品表面进行去污。
6.2.3 样品导电性较差时，应使用离子溅射仪对样品表面进行喷镀。
6.2.4 将要观察分析的样品，用导电胶固定在样品杯上，待固定后置于样品台上，送至样品室内。