条文说明

5.3.1 为确保生产厂房和特种气体系统的运行安全，本条规定了自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、腐蚀性气体的储存、分配及使用场所安全设施的设置。
    1 本款规定了设置数字式视频监控摄像机、门禁，摄像机、门禁应考虑与使用环境相适应，如有防爆、防腐蚀要求的场所，需使用相应防护的产品。
    2 本款是从实际情况看 ，安全管理显示屏一般安装在洁净室内、洁净室人口服务台处、气瓶柜间的人口等位置。其显示内容为阻止人员接近危险区域以及采取切断阀门等措施。以TCP/IP网络联机方式连接至洁净室人口服务台处之服务器。在洁净室人口服务台处及值班室的工作站，可键人日常信息，在安全显示屏上显示。为此做了本款规定。
    3 因为自燃性、易燃性、毒性气体一旦发生泄漏等安全事故 ，将对电子类工厂的生产与人员生命安全带来巨大隐患，为此，本款规定在这些气体的储存、分配、使用场所内及相关建筑主人口、内通道等设置明显的灯光闪烁报警装置，提醒人员注意，采取防范措施。
    4 为 了 在紧急情况下切断特种气体的供应 ，避免事故的蔓延与扩大，本款规定在自燃性、易燃性、毒性气体储存、分配、使用场所人口处应设紧急手动按钮。由于应急处理中心室有专人值班，规定了主要紧急手动按钮设在应急处理中心室。
5.3.2 为防止地震破坏电子类工厂的特种气体系统而造成重大次生灾害，对生产与作业人员带来危害，本条规定了在地震多发地区，特种气体的主要生产车间宜设地震探测装置。
5.3.3 国外电子工厂地震探测装置在运用较普遍，一般设置三组地震探测装置(设置位置应根据地震仪特性及现场环境因素确定)，为了防止地震仪误动作影响生产并造成不必要的人员恐慌，本条规定了只有当其中任两组同时检测到里氏5级以上地震时，才立即执行联锁控制功能，并将警报信号传送至工厂设备管理控制系统。
    对于实验室，工艺设备少的电子工厂，按需要设置地震探测装置，不做强制要求安装。
5.3.5 从保护人员生命安全的角度考虑，本条规定了气体站房应配置防毒面具、自吸式防毒面具等安全防护设施。
5.3.6 为了在事故状态下保障疏散人员的按照正确的方向逃生，本条规定了在特种气体站房屋顶最高点处应设置明显的风向标。