5.4.1 本条规定在确认特种气体泄漏后，为确保生产车间和特种气体系统的安全、应采取各项联动控制，启动显示、记录功能。一旦特种气体泄漏后，切断阀、事故通风装置与气体探测器联动，自动启动相应的事故通风装置、关闭切断阀，切断气体来源。特种气体站房环境设置事故排风是因为特种气体站房气体储存量较大，存在大量气体进人房间的可能，按照国家标准《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019-2015第6.4.1条，对可能突然放散大量有毒气体、有爆炸危险气体或粉尘的场所，应根据工艺设计要求设置事故通风系统。而在实践中，净化厂房及上、下技术夹层属于空调环境，且空间较大、循环风量较大，且相对气体量较小，为此，通常不考虑设计事故通风。
5.4.2 为了保护人员的生命安全，本条规定当气体探测系统确认气体泄漏时，应启动泄漏现场的声光报警装置，提醒作用人员采取应急措施和迅速离开事故现场。
5.4.3 为保障生命安全，在气体探测系统确认气体泄漏时，本条规定通过气体报警系统或厂务设备管理和控制系统(FMCS)系统联动与安全逃生有关的通道部位，主要有关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自动释放门禁门，可联动闭路电视监控(CCTV)系统，唤醒、启动相应区域的摄像机，进人连续录像，保留证据。
5.4.4 为了保护人员的生命安全，并考虑工厂生产不会因为地震仪的误动作造成不必要的恐慌而影响生产，本条规定只有当两台地震探测装置同时报警时，才应启动现场的声光报警装置。

5.4.5 本条为强制性条文，必须严格执行。本条规定室外大宗硅烷系统与室内硅烷输送系统探测器的布置原则，规定室外大宗硅烷系统必须设置紫外、红外火焰探测器，室内硅烷输送系统应设置火焰探测器或感温探测器，目的是为了发现早期微量火焰，及早报警并关闭气体供应系统，杜绝危险环境扩大，保护人员与财产安全。由于室外环境多变，温度、湿度随季节变化，规定设置环境适应能力强的紫外、红外探测器，室内环境相对固定，为增加探测器的选择范围，规定设置火焰探测器或感温探测器，这种规定也是国内电子工厂目前普遍的做法。美国国家标准学会标准《硅烷和硅烷混合物的储存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.2(火焰侦测)条、11.2.1(室外系统)条、11.2.2(室内系统)条也做了规定，上述条款摘录如下：
    11.2.1 室外 系 统 ， 当硅烷输送系统布置在室外时，应布置经核准用于硅烷的火焰探测系统用于潜在的硅烷泄漏区域的火焰侦测，如硅烷瓶支撑架、硅烷集装瓶组、ISO瓶组、工艺和吹扫气体盘。用于室外的侦测器应符合硅烷室外条件和经过不受太阳光、电弧焊、人工区域照明，或偏离使侦测器误动作的紫外或红外光源的测试。
    11.2.2 室内系统，当硅烷输送系统布置在室内房间或区域时，火焰侦测系统应适用于硅烷，火焰侦测器按照11.2.2.1、11.2.2.2和11.2.3或酌情进行设置，用于室内的侦测器应经过不受太阳光、电弧焊、人工区域照明，或偏离使侦测器误动作的紫外或红外光源的测试。