硅集成电路芯片工厂设计规范 GB50809-2012
10.6 大宗气体
10.6.1 大宗气体供应系统宜在工厂厂区内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气储罐或瓶装气体。
10.6.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。
10.6.3 气体纯化装置的设置,应符合下列要求:
1 气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;
2 气体纯化装置应设置在其专用的房间内,氢气纯化器应设置在独立的房间内;
3 气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。
10.6.4 生产厂房内的大宗气体管道等应采取下列安全技术措施:
1 管道及阀门附件应经脱脂处理;
2 应设置导除静电的接地设施;
3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。
10.6.5 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择,宜符合下列规定:
1 气体纯度大于或等于99.9999%时,应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀;
2 气体纯度大于或等于99.999%、露点低于-76℃时,宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管,阀门宜采用不锈钢隔膜阀或波纹管阀;
3 气体纯度大于或等于99.99%、露点低于-60℃时,宜采用内壁抛光的不锈钢管,阀门宜采用球阀;
4 气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。
10.6.6 气体管道连接,应符合下列规定:
1 管道连接应采用焊接;
2 不锈钢管应采用氩弧焊,宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊;
3 管道与设备或阀门的连接,宜采用表面密封的接头或双卡套,接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫。
10.6.2 氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。
10.6.3 气体纯化装置的设置,应符合下列要求:
1 气体纯化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择;
2 气体纯化装置应设置在其专用的房间内,氢气纯化器应设置在独立的房间内;
3 气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。
10.6.4 生产厂房内的大宗气体管道等应采取下列安全技术措施:
1 管道及阀门附件应经脱脂处理;
2 应设置导除静电的接地设施;
3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。
10.6.5 气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择,宜符合下列规定:
1 气体纯度大于或等于99.9999%时,应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管,阀门应采用隔膜阀;
2 气体纯度大于或等于99.999%、露点低于-76℃时,宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管,阀门宜采用不锈钢隔膜阀或波纹管阀;
3 气体纯度大于或等于99.99%、露点低于-60℃时,宜采用内壁抛光的不锈钢管,阀门宜采用球阀;
4 气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。
10.6.6 气体管道连接,应符合下列规定:
1 管道连接应采用焊接;
2 不锈钢管应采用氩弧焊,宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊;
3 管道与设备或阀门的连接,宜采用表面密封的接头或双卡套,接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫。
条文说明
10.6.1 大宗气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置是为了便于输送,外购液态气储罐或瓶装气体是目前许多工厂的实际状况。
10.6.2 硅集成电路芯片工厂用大宗气体包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气五种气体,本条对大宗气体的使用作了一般规定。考虑到大宗气体系统在工程完工、检修后要对系统进行吹扫,同时考虑氢气、氧气的气体特性,规定氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管,放散管应引至室外并高出建筑的屋脊1m,氢气放散管道上应设置阻火器。
10.6.3 气体纯化装置是保证气体品质的重要设备,气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据;同时纯化装置的布置既要考虑气体的特性,又要便于操作,所以,规定气体依据性质布置在一个或几个房间内。但是,氢气纯化器因为氢气的爆炸特性应布置在独立的房间内;终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质。
10.6.4 为防止由于管道及阀门附件的油脂与管内氧气因管道静电导致的燃烧,规定氧气管道及阀门附件应经严格的脱脂处理;氧气管道应设置静电泄放的接地设施是为了防止静电产生,设置自动切断阀是安全设计的要求。
10.6.5 大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大,因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型,同时规定气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。
10.6.6 根据大宗气体的性质,规定管道连接除与设备或阀门连接采用卡套连接或阀门连接外,管道连接应采用焊接,考虑大宗气体管道的高纯性质,规定当采用软管连接时,应采用金属软管。
10.6.2 硅集成电路芯片工厂用大宗气体包括氮气、氢气、氧气、氩气、氦气五种气体,本条对大宗气体的使用作了一般规定。考虑到大宗气体系统在工程完工、检修后要对系统进行吹扫,同时考虑氢气、氧气的气体特性,规定氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管,放散管应引至室外并高出建筑的屋脊1m,氢气放散管道上应设置阻火器。
10.6.3 气体纯化装置是保证气体品质的重要设备,气体气源参数和使用参数是确定纯化装置的重要数据;同时纯化装置的布置既要考虑气体的特性,又要便于操作,所以,规定气体依据性质布置在一个或几个房间内。但是,氢气纯化器因为氢气的爆炸特性应布置在独立的房间内;终端纯化器靠近工艺设备是为了保证气体的品质。
10.6.4 为防止由于管道及阀门附件的油脂与管内氧气因管道静电导致的燃烧,规定氧气管道及阀门附件应经严格的脱脂处理;氧气管道应设置静电泄放的接地设施是为了防止静电产生,设置自动切断阀是安全设计的要求。
10.6.5 大宗气体管道和阀门的选择与工艺对气体品质的要求关联度较大,因此规定根据气体的纯度确定管道材料和阀门类型,同时规定气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。
10.6.6 根据大宗气体的性质,规定管道连接除与设备或阀门连接采用卡套连接或阀门连接外,管道连接应采用焊接,考虑大宗气体管道的高纯性质,规定当采用软管连接时,应采用金属软管。
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