电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011
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3.4 精处理

3.4.1  最终纯水水质要求较高时,精处理系统应与车间供水管道构成循环供水系统。

3.4.2  系统设备的设计流量应按产水量与循环附加流量之和计算。

3.4.3  精处理混合床应符合下列要求:

    1  应采用非再生式离子交换树脂。

    2  离子交换树脂应根据水质要求选择。

    3  离子交换器滤速宜为40m/h~60m/h。

3.4.4  最终用水有不同水温要求时,应在精混床后分别换热供水,热纯水回水应进行降温处理。

3.4.5  精处理系统的最终出水管上应根据水质要求设置相应的在线水质监测仪表。未配置在线水质监测仪表时,应备有采样口。

条文说明

3.4.3  抛光混床处于精处理阶段最后部位(后面只有微滤或超滤),是达到纯水电阻率和微量电解质指标要求的最后一道关口,要求抛光混床既最终去除微量电解质又不能产生新的微污染物,它又是与循环纯水供水管路保证使用点水质要求的关键一环,因此作了几款规定。

    精处理系统普遍称为“抛光”,是电子工业纯水的特色之一,它依据“流水不腐”的理念把精处理(抛光)和纯水供水管网组成不可分割的一体,最终保证工艺使用点的纯水要求。

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