电子工业纯水系统设计规范 GB50685-2011
3.6 水箱、水泵
3.6.1 纯水制备系统的水箱材质选择应满足所贮存水的水质要求。水箱容积宜按下列要求确定:
1 原水箱、中继水箱容积宜满足连续运行的最大一台水泵2h~3h出力要求,同时应满足单台设备反洗或清洗一次的用水量要求。
2 除盐水箱、软化水箱总容积应满足使用点的用水量要求。水箱总容积宜大于1h的耗水量要求,同时应满足工艺系统需要的最大一次自用水量的要求。
3 除二氧化碳装置的水箱有效容积,单元串联系统宜为本单元设备出力的5min贮水量,且不宜小于2m3;并联系统宜为并联设备总出力的15min~30min贮水量,水量大时可设多台水箱及除碳器。
3.6.2 纯水制造系统过程中水的电阻率较高、防止二氧化碳溶入水中或有溶解氧要求时,水箱宜设置氮封保护。设置氮封保护的水箱溢流口应采取隔绝空气的措施。
3.6.3 氮封装置的供气量应大于或等于对应水泵组的最大输水量。氮封压力值可取0. 0005MPa~0. 001MPa(表压)。
3.6.4 纯水供水泵宜采用变频水泵。纯水使用点压力要求较高或输配管路较长时,宜加设中继泵。
条文说明
3.6.4 精处理阶段一般由纯水加压泵、板式换热器、抛光混床及最终过滤等组成,并最终保证用水点水压。当用水点水压要求较高时,必须提高纯水加压泵的水压,造成板式换热器、抛光混床等设备承压过高,同时也提高了对管道耐压等级的要求,故建议采取串联中继泵的方法解决。
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