电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014
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B.2 二氧化硅

B.2.1  纯水系统二氧化硅含量测试宜采用在线式二氧化硅分析仪检测。

B.2.2  分析仪的量程和精度应符合检测参数的精度要求,并应处于校准有效期内。

B.2.3  二氧化硅含量测试采样点的设置应符合设计要求。

B.2.4  二氧化硅含量测试方法应符合下列要求:

    1  采用PE或PFA软管从测试采样点取水样接至分析仪;

    2  距离较远时,应采用与采用点同材质的管路作为引入管引水至分析仪附近,再采用PE或PFA软管接至分析仪取样;引入管末端应设置隔膜阀排水;

    3  按分析仪的操作说明书要求,采用校准溶液进行化学零点与斜率校准、开启采样阀取水样、检测等操作;

    4  观察分析仪显示界面显示的数据,即为该测试点的二氧化硅含量。

B.2.5  采用分光光度计取样检测时,测试方应法符合现行国家标准《电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法》GB/T 11446.6的有关规定。

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