电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014
B.3 颗粒度
B.3.1 纯水系统颗粒度测试宜采用在线式超纯水颗粒计数仪检测。
B.3.2 颗粒度测试点应符合设计参数要求。
B.3.3 测试仪器最小测试粒径应小于或等于纯水系统主控粒径。
B.3.4 颗粒度测试方法应符合下列要求:
1 采用PE或PFA软管从测试采样点取水样接至颗粒计数仪;
2 距离较远时,应采用与采用点同材质的管路作为引入管引水至计数仪附近,再采用PE或PFA软管接至计数仪取样、检测;
3 颗粒计数仪接入管路后,应包括引入管及PE或PFA软管在内的连接管路需经过充分冲洗、循环,直至测试数据逐步趋于稳定后方可正式读数;
4 颗粒计数仪的操作应遵循仪器操作说明书要求;
5 观察颗粒计数仪显示界面显示的数据,即为该测试点的颗粒度。
B.3.5 采用取样离线测试时,测试方法应符合现行国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》GB/T 11446.9的有关规定。
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