电子工业纯水系统安装与验收规范 GB51035-2014
返 回
变小
变大
底 色

B.3 颗粒度

B.3.1  纯水系统颗粒度测试宜采用在线式超纯水颗粒计数仪检测。

B.3.2  颗粒度测试点应符合设计参数要求。

B.3.3  测试仪器最小测试粒径应小于或等于纯水系统主控粒径。

B.3.4  颗粒度测试方法应符合下列要求:

    1  采用PE或PFA软管从测试采样点取水样接至颗粒计数仪;

    2  距离较远时,应采用与采用点同材质的管路作为引入管引水至计数仪附近,再采用PE或PFA软管接至计数仪取样、检测;

    3  颗粒计数仪接入管路后,应包括引入管及PE或PFA软管在内的连接管路需经过充分冲洗、循环,直至测试数据逐步趋于稳定后方可正式读数;

    4  颗粒计数仪的操作应遵循仪器操作说明书要求;

    5  观察颗粒计数仪显示界面显示的数据,即为该测试点的颗粒度。

B.3.5  采用取样离线测试时,测试方法应符合现行国家标准《电子级水中微粒的仪器测试方法》GB/T 11446.9的有关规定。

目录 返回 上节 下节


京ICP备10045562号-28 京公网安备110105014475

关闭