7.4 微振动控制设计及测试
7.4.1 微振动控制设计应包括下列因素：
1 厂房外部振源；
2 厂房内部操作人员行走；
3 生产和动力设备运行；
4 管道内流体流动；
5 工艺设备的固有频率。
7.4.2 同一个工艺生产楼层中，垂直方向可按不同设备的微振动控制要求选择不同的微振动控制标准，水平方向应按全部设备中最严格的微振动控制标准要求选择。
7.4.3 核心区楼层结构应采用小柱距的布置方案，VC-C微振动控制标准的区域柱距不宜大于6m；VC-A、VC-B微振动控制标准的区域柱距不宜大于10m。
7.4.4 首层地板应采用钢筋混凝土结构，厚度不宜小于400mm，并应与主体结构连成整体。
7.4.5 微振动控制在工程建设中应按下列步骤进行微振动测试及分析评估工作：
1 场地环境振源的调查、振动测试及分析评估；
2 结构楼层的动力特性测试及分析评估；
3 支持区动力设备运行时基座平台上的振动测试及分析评估；
4 工艺设备运行时基座平台上的振动测试及分析评估。
7.4.1 厂房的外部振源包括总的周围环境条件：当地的交通、码头、铁路、高铁、城铁、邻近的飞机场和邻近的工业设施，通过现场测试了解建筑物场地的振动情况；在建筑物内，也有许多产生振动的振源，厂房的内部振源包括人的步行活动，运输系统，电力和机械设备，空调设施和泵，管道和风管，工艺设备本身的运行等。
7.4.4 根据国外的相关资料和国内一些工程的实测结果对比，底层结构大底板具有抑制周围环境水平振动的作用。
7.4.5 在薄膜晶体管液晶显示器厂房的建设过程中，微振动的控制是一个过程控制，贯穿于整个工程的建设周期，通过在不同建设时期的测试、分析和评估，可以及时发现问题，并解决问题，使微振动的问题不会成为影响投资巨大的薄膜晶体管液晶显示器厂房正常生产的主要因素。
- 上一节：7.3 微振动控制标准
- 下一节：7.5 基座平台设计
