薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范 GB51136-2015
7.5 基座平台设计
7.5.1 有微振控制要求的设备基座平台应根据工艺楼层的微振控制标准、设备的技术要求选择合适的结构方案。
7.5.2 基座平台的钢筋混凝土部分厚度不宜小于200mm。
7.5.3 基座平台的结构部分与周边的架空地板及其支承钢梁之间应设置伸缩缝,缝宽不宜大于10mm。
7.5.4 基座平台的基本频率应避开其下支承结构的基本频率。
条文说明
7.5.1 基座平台的做法可采用实体钢筋混凝土基础、钢梁-钢筋混凝土组合基础、钢架-钢筋混凝土组合基础、钢结构基础或隔振基础。
7.5.4 一般科技厂房的基本频率值在2Hz~15Hz间,高架基台最高可做到两米多高,应避免高架基台的基本频率接近科技厂房的基本频率,防止发生共振。
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