6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
6.2.1 含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定：
1 宜采用多级喷淋处理方式；
2 当二氧化氮（NO2）含量超出排放标准时，应采用还原处理；
3 当一氧化氮（NO）含量超出排放标准时，应采用氧化、还原处理；
4 综合处理效率不应低于90％；
5 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。
6.2.2 高浓度酸废气处理应符合下列规定：
1 宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设备，处理后再进入中央酸废气处理系统；
2 当不能设置尾气处理设备时，应独立设置废气处理系统，并应采取多级喷淋处理方式。
6.2.3 电镀工艺产生的废气系统设置应符合下列规定：
1 溶液（镀）槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排风措施；
2 排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作；
3 易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口；
4 各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统。
6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
6.2.1 集成电路和平板显示类工厂的酸性废气中含有NO和NO2混合的NOx，除进行酸碱中和反应外，还需进行氧化、还原反应去除NOx，采用多级处理方法。
在去除NOx过程中易产生有异味或污染性的副产物气体，需要采取措施去除新污染源。
6.2.2 酸液喷淋清洗型设备、加热的酸清洗槽的排气为高浓度酸废气，普通酸处理设备处理效率低，无法满足处理要求，需进行特殊处理。
1 在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置POU，采用喷淋碱液的方法，就地去除高浓度酸废气。
2 高浓度酸废气排入末端集中酸废气处理系统，洗涤塔要根据有害物浓度计算确定填料和喷淋级数，采用多级处理方式。
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