- 前言
- 1 总则
- 2 术语
- 3 基本规定
- 4 工艺及工艺设备
- 4.1 一般规定
- 4.2 污染物控制
- 4.3 应急设施
- 5 碱性废气系统
- 5.1 一般规定
- 5.2 处理流程和方法
- 5.3 处理设备
- 5.4 风管及附件
- 6 酸性废气系统
- 6.1 一般规定
- 6.2 氮氧化物、高浓度酸及电镀废气
- 7 挥发性有机物废气系统
- 7.1 一般规定
- 7.2 废气收集、排风管道系统
- 7.3 处理系统
- 7.4 处理设备
- 7.5 自动控制及安全措施
- 8 特种废气系统
- 8.1 一般规定
- 8.2 烷类尾气处理系统
- 8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
- 8.4 其他特种尾气处理系统
- 8.5 中央废气处理系统
- 9 除尘系统
- 9.1 一般规定
- 9.2 系统设计、处理流程及方法
- 9.3 处理设备
- 9.4 风管及附件
- 10 电子玻璃窑炉废气系统
- 10.1 一般规定
- 10.2 系统设计、处理流程及方法
- 10.3 处理设备
- 10.4 风管及附件
- 11 事故通风
- 11.1 一般规定
- 11.2 系统设计及有害气体净化
- 12 电气设计
- 12.1 供配电与照明
- 12.2 防雷与接地
- 附录A 电子工业常用高毒物品的立即危害生命和健康浓度（IDLH）
- 本标准用词说明
- 引用标准名录
电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019
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