电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019
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7.1 一般规定

7.1.1 当采用吸附、吸附浓缩、催化氧化或蓄热氧化工艺处理挥发性有机物废气时,应控制待处理气体的颗粒物浓度。吸附、吸附浓缩处理气体的颗粒物浓度应低于1mg/m³,催化氧化或蓄热氧化处理气体的颗粒物浓度应低于10mg/m³(T=293K,P=101.325kPa)。

7.1.2 当采用吸附、吸附浓缩等工艺处理挥发性有机物废气时,待处理废气的温度不宜高于40℃,相对湿度不宜大于80%。

7.1.3 挥发性有机物废气处理系统的设计寿命应与工艺生产设备的剩余寿命相适应,且不宜小于10年。

7.1.4 除低沸点挥发性有机物外,当入口浓度不小于100mg/m³时,挥发性有机物的处理效率不应低于95%,当入口浓度小于100mg/m³时,出口浓度不应大于5mg/m³。

7.1.5 处理设备的防火、防爆设计应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

7.1.6 当采用转轮浓缩处理挥发性有机物废气时,浓缩后的挥发性有机物废气浓度不应大于爆炸下限的50%。

7.1.7 热氧化设备的保温应符合下列规定:

    1 宜采用憎水型的保温材料;

    2 不锈钢管道和设备的保温材料氯离子含量应小于25ppm;

    3 保温材料材质应根据温度确定。

7.1.8 风机进出口应设置软连接。

条文说明

7.1.1 对于吸附、吸附浓缩或焚烧法处理挥发性有机物废气时,气体中颗粒物浓度过大易堵塞吸附剂、催化剂或蓄热材料。

7.1.2 活性炭和转轮等吸附材料的性能受温度的影响较大,温度高对吸附不利,气体温度超过40℃时,吸附剂的吸附平衡容量下降快,不利于吸附。气体相对湿度高时,水分与挥发性有机物的竞争吸附能力加强,挥发性有机物吸附容量减少。因此,高温、高湿的挥发性有机物废气一般是混入温度及相对湿度低的空气,或者通过表冷器进行降温、除湿处理(除湿后的挥发性有机物废气还需再加热,以降低相对湿度),再进入吸附装置处理。

7.1.3 要求设计者从技术经济的角度出发,考虑设备与伺服系统的使用年限关系。

7.1.4 目前,转轮系统从材料和密封性角度均能满足大于95%的净化效率,同时我国对挥发性有机物的控制要求也越来越严格。电子行业的含挥发性有机物排气通常具有低浓度、大风量的特点,普遍采用转轮浓缩净化,因此要求系统,主要是转轮浓缩系统浓度大于100mg/时对挥发性有机物的吸附净化效率不应低于95%,而浓度低于100mg/时,因入口浓度低,达到95%存在困难,因此限制排放浓度不大于5mg/

7.1.5 从安全角度提出的挥发性有机物废气处理系统设计最基本的要求。

7.1.8 风机进出口设置软连接可阻隔风机振动通过管道向外传递。软连接材料包括不锈钢波纹节、各类玻纤布软管及涂胶帆布等。

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