8.1 一般规定
8.1.1 特种废气处理系统的设置应符合下列规定：
1 应根据工艺设备生产过程中产生的污染物性质和浓度等因素，选择尾气处理设备（POU）的形式；
2 特种废气宜在使用设备的附近进行处理；
3 尾气处理设备宜设置备用。
8.1.2 工艺设备与尾气处理设备之间的管道连接应符合下列规定：
1 当工艺设备使用的气体不相容时，工艺设备与尾气处理设备应一一对应；
2 工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口应一一对应，不宜合并使用。
8.1.3 尾气处理设备与工艺真空泵之间的连接管应减少变径、弯头和接头。
8.1.4 工艺真空泵与尾气处理设备之间以及尾气处理设备之后的管道材料的特性应与所接触的污染物的性质相适应。
8.1.5 尾气处理设备进出口宜设置取样口。
8.1.6 安装在室外的尾气处理设备以及管道的材质应采取防腐、防紫外线措施。
8.1.7 特种废气的排风管道及附件应采用不燃材料制作。
8.1.8 淋洗式尾气处理设备后的管道应设置1％的坡度，坡向处理设备。
8.1.1 本条规定了特种废气处理系统的设置要求。
1 特种废气的尾气处理设备包括干法吸附式、热氧化式、淋洗式、等离子式等。
3 尾气处理设备的入口、设备腔体内、管路以及等离子头等需要定期清理，短则2个月～3个月，长则3个月～6个月。为了确保稳定生产，特种尾气设备一般考虑备用。
8.1.2 本条规定了管道连接的要求。
1 不同工艺设备及同一工艺设备的不同腔体使用相容气体时，一般采用图4、图7接法；工艺设备不同腔体使用不相容气体时，要采用图5接法，不要采用图4、图7接法。
2 工艺设备的排出口与尾气处理设备的进入口，要一一对应图4、图5接法；图6合并使用的接法，在接头处易造成堵塞，故一般不采用。
8.1.3 为了减少系统的阻力以及避免冷凝液和颗粒物的积聚，要减少管路中的弯头和变径。当处理气体有含有自燃气体（如硅烷）、可燃气体时，为了避免其余渗入的氧气混合引起燃烧或爆炸，要减少管路上的接头。
8.1.5 在尾气处理设备的出口设置取样口以便于检测。
8.1.7 从安全角度考虑，制定了本条规定。
8.1.8 采用淋洗式尾气处理设备时，由于其排出的气体中含有水蒸气，故制定了本条规定。
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