8.2 烷类尾气处理系统
8.2.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定：
1 设备的处理效率不应低于99％；
2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下；
3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。
8.2.2 采用电热式和等离子式的尾气处理设备，其内部应采用耐腐蚀、耐高温的材料。
8.2.3 尾气处理系统宜采用下列方式：
1 硅烷（SiH4）、锗烷（GeH4）宜采用热氧化和洗涤两级处理方式；
2 磷烷（PH3）宜采用热氧化和洗涤两级处理方式或干式吸附方式；
3 乙硼烷（B2H6）宜采用洗涤方式；
4 砷烷（AsH3）宜采用干式吸附方式。
8.2.4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定：
1 管道的材质宜采用不锈钢304或316；
2 当尾气遇低温易产生沉淀物质时，管道应采取加热措施。
8.2.5 尾气处理设备出口之后的管道宜采用耐腐蚀、导静电的材质。
8.2.6 当尾气处理设备采用直接燃烧方式时，应符合消防要求。
8.2.1 PC-TWA值见《工作场所有害因素职业接触限值 第1部分：化学有害因素》GBZ 2.1。
8.2.3 本条规定了几种尾气的处理方式。
1 因为硅烷易与空气发生反应，产生二氧化硅，极易堵塞管道，故需要进行就地洗涤，而采用离子式的方式易堵塞火炬头，故不推荐。
2 对于废气量大的设备宜采用“热氧化+洗涤”的方式，如：CVD；量小的一般采用吸附式的方式，如离子注入机、特气站均采用吸附式。
3 由于乙硼烷直接用吸收液处理效率较高，故推荐此方式。
- 上一节：8.1 一般规定
- 下一节：8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统
