8.3 全氟化合物（PFC）尾气处理系统

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8.3.1 对化学气相沉积（CVD）、干法刻蚀工艺生产工程中散发的全氟化合物（PFC），排入大气前应进行处理。

8.3.2 尾气处理设备的效率应符合下列规定：

1 三氟化氮（NF₃）不应低于98％；

2 其他不应低于95％。

8.3.3 全氟化合物（PFC）尾气处理设备宜采用热裂解和淋洗两级处理方式，裂解方式应根据处理效率、处理生成物、系统可靠性、处理能力、运行成本，使用寿命、消防要求因素等综合比较确定。

8.3.4 尾气处理设备的内腔和风管应采用耐腐蚀的材料。

8.3.5 尾气处理设备的排水应进入含氟废水处理系统。

条文说明

8.3.2 由于中央废气处理设备对全氟化合物的效率几乎为“0”，所以规定了特种尾气设备的效率。

8.3.3 热裂解包括等离子式和热氧化式。

8.3.4 由于全氟化物经POU处理，气体分解后会产生强腐蚀性的高浓度的氟酸气体，故规定其处理设备的塔体及管道采用耐腐蚀的材料。

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