电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019
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7.4 处理设备

7.4.1 活性炭吸附设备设置应符合下列规定:

    1 当废气中颗粒物浓度大于1mg/m³时,宜设置预过滤器;

    2 活性炭过滤风速宜为0.2m/s~0.6m/s,设备阻力不宜大于1000Pa;

    3 活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置;

    4 设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应;

    5 设备强度应能满足承压要求;

    6 吸附设备的基本性能应符合现行行业标准《环境保护产品技术要求  工业废气吸附净化装置》HJ/T 386的有关规定。

7.4.2 转轮浓缩设备的设置应符合下列规定:

    1 吸附区的设计面风速不宜大于3m/s,转轮厚度不宜小于400mm;

    2 转速宜为2转/h~6转/h;

    3 转轮应分为吸附区、脱附再生区和冷却区三个区域;

    4 吸附区、脱附区和冷却区之间应密封隔离,漏风率不应大于1%。

7.4.3 热氧化及热回收设备的设置应符合下列规定:

    1 废气热氧化温度应控制在730℃~850℃,滞留时间不宜小于0.75s;

    2 热氧化设备应设置绝热措施,并保证炉体外表面温度不应高于60℃;

    3 换热器宜采用管壳式。

7.4.4 蓄热氧化设备的设置应符合下列规定:

    1 废气热氧化室温度宜控制在780℃~880℃,滞留时间不宜小于0.75s;

    2 蓄热层的面风速宜为1.1m/s~1.5m/s;

    3 蓄热材料的高度宜为0.8m~1.6m;

    4 切换阀门泄漏率不应大于0.5%;

    5 蓄热氧化设备应设置保温,并保证炉体外表面温度不应高于60℃;

    6 蓄热材料的膨胀系数不应大于6×10-6m/(m·℃);

    7 蓄热氧化设备应设置自动控制。

7.4.5 旋转蓄热氧化设备的设置应符合下列规定:

    1 宜划分为6个以上的偶数区;

    2 吹扫风量不应小于总风量的1/6;

    3 其余要求应符合本标准第7.4.4条的第1款~第7款规定。

7.4.6 催化氧化设备的设置应符合下列规定:

    1 催化温度宜控制在350℃~500℃,滞留时间不宜小于0.75s;

    2 催化区域的面风速宜为1.3m/s;

    3 设计出口温度不应大于550℃;

    4 催化设备启动时,预热时间不宜少于2h;

    5 当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定时,加热系统应设置自动调温设备,并维持出口温度不应大于550℃;

    6 催化氧化系统应设热回收设备。

7.4.7 蓄热催化氧化设备设置应符合下列规定:

    1 燃烧室温度宜控制在280℃~500℃,滞留时间不宜小于0.75s;

    2 其余要求应符合本标准第7.4.4条的第2款~第7款和第7.4.6条的第2款~第5款规定。

7.4.8 高沸点挥发性有机物废气冷凝过滤设备设置应符合下列规定:

    1 冷凝过滤设备应由预过滤器、冷却盘管、除雾器、过滤装置、液体收集系统等组成。

    2 预过滤器滤料宜采用不锈钢制作,过滤效率不应低于99%(≥50μm)。

    3 液体收集罐区域应配置可燃气体报警装置。

    4 冷却器和设备壳体应采用不锈钢制作。

    5 冷凝和过滤设备应设置观察窗及检修门。

    6 除雾器设置应符合下列规定:

        1)宜采用高通量的丝网制作;

        2)去除率应大于99%(≥10μm);

        3)应配备水冲洗装置,喷头材质应为不锈钢或聚偏氟乙烯(PVDF)。

    7 末端过滤装置对0.1μm~10μm雾滴的去除效率应大于95%。

    8 设备阻力不应大于1000Pa。

条文说明

7.4.1 为防止气体中的颗粒物堵塞活性炭床,预过滤系统出口气体中的颗粒物浓度一般不大于1mg/m³,安装床层温度及超温报警器可有效控制火灾的发生,安装压差计可在一定程度上了解活性炭床的运行状况。壳体材料要能耐受待处理气体成分在潮湿环境下可能引起的腐蚀作用。设备壳体材料及加强结构要有足够的强度,以防止在运行过程中因设备内部正压或负压产生变形。

7.4.2 转轮吸附浓缩系统采用憎水性的吸附材料附载于蜂窝基材表面形成的吸附材料。设计时要充分了解其对待处理气体的吸附、脱附性能的情况。吸附区的设计面风速、转轮厚度和转速综合对吸附净化效率起作用。转轮吸附浓缩设备通常由专业供货商提供,净化系统设计者可通过本条第1款、第2款的参数进行设计选型。尽管转轮本身不具可燃性,但也曾出现过吸附在转轮上的挥发性有机物出现闷烧的情况,因此对于部分应用场合(尤其是含有酮类物质的挥发性有机物气体)通常配置氮气自动充气及消防水自动喷洒装置,并设置PLC转轮温度连锁控制系统,以防止异常或停机时出现转轮闷烧的危险。

    转轮的净化效率还取决于吸附区、脱附区和冷却区间的动密封隔离情况,动密封结构和材料是决定性的因素。

    转轮漏风率:

7.4.3 挥发性有机物气体直接热氧化净化效率取决于燃烧温度、停留时间、供氧量及气流紊动混合程度,因此规定了气体热氧化温度要控制在730℃~850℃,停留时间一般不小于0.75s的下限条件。从节能和安全的角度,规定了绝热层设计应确保炉体外表面温度不大于60℃,通常炉体绝热材料厚度不小于150mm。换热器的换热效率不小于65%,由于是气气换热,因此建议采用管壳式类型的换热器以确保换热效果。

7.4.4 挥发性有机物气体热氧化净化效率取决于氧化温度、滞留时间、供氧量及气流紊动混合程度,因此规定了蓄热氧化设备气体氧化温度控制在780℃~880℃(与非蓄热氧化相比,混合程度相对较差),滞留时间一般不小于0.75s的下限条件。蓄热的断面风速和填装高度是蓄热热回收率的重要影响因素,蓄热层的断面风速一般为1.1m/s~1.5m/s(标准工况下),蓄热材料的高度一般控制在0.8m~1.6m范围内。为保证热氧化净化效率,气流切换阀门的泄漏率不应超过0.5%。蓄热氧化设备设置的超温强制排风措施应包括PLC温度连锁、高温排气阀和烟气混合腔室等。从节能和安全的角度,规定了绝热层设计要确保炉体外表面温度不大于60℃。炉膛绝热层的要求如下:陶瓷纤维棉,厚度不小于250mm,耐热温度不小于1250℃。炉体绝热层厚度不小于150mm。

    由于蓄热床内频繁出现温度变化,因此通过选择膨胀系数不大于6×10-6m/(m·℃)的蓄热材料来避免因蓄热材料风化而导致的故障或换热效率下降。

    热氧化自动控制包括控制程序、炉膛空气预吹除程序、母火监视程序、主火监视与建立程序、运转与后吹扫程序等。相关模块包含有继电器模组(Relay Module)、键盘与显示模块、定时器模块、紫外线火焰监视器模块、通信模块与安装配线模块。控制器配备有扩充的警报模块,其最初产生的警报与诊断包含有火焰信号显示、氧化器全部监视循环、燃烧器运转时间、最后六个警报信号的锁定,透过显示器进行的燃烧器I/O电压测试诊断。

7.4.5 旋转蓄热氧化设备(RRTO)较普通蓄热氧化设备增加了旋转阀和清洗功能,RRTO进出气配向阀采用圆形连续式旋转,克服传统式蓄热氧化设备背压波动、阀门泄漏问题,加上设计有废气吹扫区,能在吸放热切换时将蓄热床未热氧化的残余废气吹入炉膛氧化,较好克服了VOCs去除效率波动问题,见图3。旋转蓄热氧化设备根据风量不同一般划分为6个以上的偶数区(2n,n≥3),其中n-1个区为进气,n-1个区为出气,一个区为吹扫区,一个区为待机区。吹扫风量不小于总风量的1/6。吹扫风由吹扫风机提供压力,静压不小于3500Pa。床层厚度根据蓄热效率确定,断面流速通常为1.3m/s~2m/s(标准工况下)。

7.4.6 挥发性有机物气体热氧化净化效率取决于氧化温度、停留时间、供氧量及气流紊动混合程度,催化剂能降低对氧化温度的要求,但催化氧化也要在一定的温度下进行,同时又要防止温度过高造成催化剂的烧结失活,因此要求催化温度控制在350℃~500℃,停留时间不小于0.75s。催化区域的断面风速一般在1.3m/s(标准工况下),一方面控制设备断面面积,另一方面保持紊流传质条件。要通过设计换热器将挥发性有机物废气预热升温至280℃以上,再通过电加热等方式加热到350℃后再进入催化反应器。催化装置启动时,需先以新鲜空气通过电加热等方式加热到350℃循环预热催化剂及反应器,暖机时间约为110min,待催化反应器到达350℃并且充分预热后,处理系统才可导入挥发性有机物废气开始运行。当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定时,加热系统需设置自动调温装置,并维持出口温度不大于550℃,避免催化剂烧结失效。

7.4.7 挥发性有机物废气氧化净化效率取决于氧化温度、停留时间、供氧量及气流紊动混合程度,催化剂可降低对氧化温度的要求,但催化氧化也要在一定的温度下进行,同时又要防止温度过高造成催化剂的烧结失活,因此要求催化温度控制在280℃~500℃,停留时间不小于0.75s。

7.4.8 系统各部件采用的材料要具有耐受冷凝液腐蚀的能力,以免出现漏液或漏气。预过滤系统主要用来去除易于污损换热面的颗粒物质。控制设备压降主要是需要减少系统的压损。考虑到液体收集罐可能因收集的挥发性有机物气体的挥发逸散或装卸、洒漏等,在其周边造成挥发性有机物气体的浓度超过气体爆炸下限值(LEL),因此要求在液体收集罐周边的区域配置可燃气体报警装置。 

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