电子工业废气处理工程设计标准 GB51401-2019
返 回
变小
变大
底 色

11.2 系统设计及有害气体净化

11.2.1 事故排风量按换气次数确定时,房间容积计算应符合下列规定:

    1  房间高度小于或等于6m时,应按房间的实际容积计算;

    2  当房间高度大于6m时,应按6m的空间体积计算。

11.2.2 事故排风系统的设置,应符合下列规定:

    1 当正常的排风系统已能满足事故排风量要求时,可不另设事故排风系统;

    2 当正常的排风系统不能满足事故排风量要求时,应按风量的不足部分另设事故排风系统;

    3 应符合本标准第3.0.2条的要求;

    4 当多个房间共用一个事故排风系统时,系统排风量应为各房间事故排风量之和。

11.2.3 事故状态下的最大泄漏速率,应为最大储存压力和最高温度下有毒有害物质单位时间内从储罐泄漏到周围环境的量。

11.2.4 有毒有害物质的事故排风系统宜采用稀释方式达到排放浓度要求,当经技术经济比较采用稀释方式不适宜时,应采用吸附、洗涤、焚烧、冷却等处理方式达到排放浓度要求。

11.2.5 含有极毒和剧毒物质的事故排风应经废气净化设备处理后高空排放。

11.2.6 砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)气体宜采用吸附方式处理。

11.2.7 采用稀释方式处理事故排风时,系统设计应符合下列规定:

    1 稀释风量应按系统中所储存的各种有毒有害物质中单个储罐中的有毒有害物质稀释至立即危害生命和健康浓度的50%所需空气量的最大值计算;

    2 稀释空气宜从有毒、有害物质泄漏处进入。

11.2.8 当采用吸附方式处理事故排风时,应符合下列规定:

    1 应根据被吸附物质的性质、浓度、温度、吸附材料特性、系统风量等因素设置吸附处理系统;

    2 采用固定床吸附设备时,吸附材料的装填量应满足完全吸附系统中任意一个储罐最大储存量的有毒有害物质;

    3 处理系统的吸附速率应满足完全吸附系统中任意一个储罐最大泄漏量的有毒有害物质;

    4 更换储罐时排出的吹扫气体,不应进入事故排风的吸附处理系统。

11.2.9 当采用淋洗方式处理事故排风时,应符合下列规定:

    1 宜采用直立填料洗涤式废气处理设备;

    2 废气处理设备的洗涤液循环泵平时宜低速运行,事故排风时应高速运行;

    3 当事故排风启动时,废气到达处理设备的时间长于处理设备内填料润湿时间时,洗涤液循环泵可仅在发生事故时运行;

    4 当有毒有害气体经洗涤液处理后产生雾状有害物时,废气处理设备后应设置除雾器;

    5 废气处理设备应设置自动补液和排液系统。

11.2.10 极毒和剧毒物质的储存间和输配管廊内应设置气体检测报警装置并与事故排风连锁。

11.2.11 采用冷凝方式处理有机毒性物质时,应符合下列规定:

    1 冷水或冷媒管道上应装设自动调节阀和温度计;

    2 管道和设备应设置保温措施。

11.2.12 采用热氧化方式处理可燃性有毒气体时,应符合下列规定:

    1 热氧化后的生成物如是有毒有害物质,其浓度应低于立即危害生命和健康浓度的50%;

    2 燃料气体供应和燃烧系统以及电气系统的设置应符合现行国家标准《城镇燃气设计规范》GB 50028、《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定。

条文说明

11.2.1 对于高大厂房,按整个车间12次/小时换气计算事故通风量时,事故通风系统庞大,且事故通风量不一定合理,因此规定厂房以6m高度为限。当房间高度小于或等于6m时,按房间实际容积计算;当房间高度大于6m时,按6m的空间体积计算。通过合理布置吸风口,可以让事故通风系统发挥最大的作用。吸风口的布置要符合本标准第11.1.3条的规定。

11.2.2 事故排风能够由经常使用的排风系统和事故排风系统共同保证。

11.2.3 计算事故状态下的最大泄漏量一般考虑最不利情况,即单位时间内在最大储存压力和最高温度下的泄漏量。

11.2.4 按照本标准11.1.8条的规定,事故排风系统排出口有害物质浓度要不高于立即危害生命和健康浓度值的50%。最经济的方法就是稀释排放,但有些有毒物质允许的立即危害生命和健康浓度值较低,当最大事故泄漏量较大时,如采用稀释排放,则所需的稀释风量巨大,明显不经济,此时采用吸附或洗涤等处理方式是较为合理的方案。

11.2.5 极毒和剧毒物质对人体危害很大,目前国家相关规范规定要采用净化处理后高空、高速排放,故不采用稀释方式排放。

11.2.6 由于砷烷和磷烷难溶解于水,采用淋洗方式几乎无效,所以一般采用吸附方式处理。而微电子厂房常用的乙硼烷能用吸附,也能用洗涤方式处理。

11.2.7 本条规定了采用稀释方式处理事故排风时系统的设计要求。

    采用稀释方式处理事故排风时,如果稀释排风系统中带有多个有毒有害物质储存和输配系统,此时系统的稀释风量要满足系统中任意一个储罐和相关的输配系统发生事故时所需的稀释风量,所以系统的稀释风量要取各种有毒有害物质稀释至立即危害生命和健康浓度(LDHL)所需空气量中的最大值。

    当采用稀释方式处理事故排风时,从有毒有害物质泄漏处进入稀释空气,是最为安全、有效的方式,使系统中绝大部分空气均处于立即危害生命和健康浓度值以下。

11.2.8 本条规定了用吸附方式处理事故排风设计时的要求。

    设计吸附处理系统应考虑的因素。

    对于固定床吸附处理设备,由于吸附材料在事故排风系统运行过程中是不能添加的,所以吸附材料的装填量要大于完全吸附系统中最大储存量的有毒有害物质全部散出时的吸附材料需求量。

    与上一款的理由相同。吸附设备的吸附速率不能低于完全吸附系统中最大泄漏量的有毒有害物质散出时所需的吸附速率,以保证所有泄漏的有毒有害物质被全部吸附。

    平时每次更换储罐的吹扫气体量并不大,但也会使吸附设备中的部分吸附材料失去吸附能力,导致事故排风时的吸附能力不够,所以更换储罐的吹扫气体需另设置吸附处理系统或接入其他的废气处理系统。另外,日常不启动时因为水分的吸收需要定期确认吸附材料的损伤状态。当有毒有害物发生泄漏,且事故排风系统启动后吸附材料也需要更换。

11.2.9 本条规定了采用淋洗方式处理事故排风设计时的要求。

    直立填料洗涤式废气处理设备虽然接管复杂,运行阻力稍高,但理论上具有最佳的气液质交换效果,且事故排风系统为偶尔运行,运行阻力稍高不应作为主要的考量因素,所以要优先采用。

    如果事故排风系统废气处理设备的循环泵平时不运行,当有毒有害物质发生泄漏而启动事故排风机时,假如事故排风点与废气处理设备间的距离较短,很有可能发生含有毒有害物质的事故排风到达处理设备时,处理设备中大部分填料还未润湿,起不到处理效果,事故排风系统排出口的有毒有害物质浓度超标,所以循环泵平时要保持低速运行,以保证填料始终处于湿润状态。

    当事故排风点与废气处理设备间距离足够长时,通过计算确认,启动循环泵后填料润湿的时间,短于启动事故排风机后含有毒有害物质的空气到达废气处理设备的时间,洗涤液循环泵能仅在发生事故时先于事故排风机启动,但为了防止启动循环泵时发生瞬时抽空现象,废气处理设备的储液箱容量需足够大。

    有些有毒有害气体淋洗处理后会形成酸雾,如HCl气体淋洗后将形成HCl雾,所以废气处理设备后需装设除雾器,以防止酸雾排入大气,影响处理效率。

    为保证废气处理设备能连续、稳定、高效的工作,需设置自动补液和排液系统。

11.2.10 电子工业生产过程中使用的砷烷、磷烷、乙硼烷、三氯化硼等极毒和剧毒物质一旦发生泄漏事故,对人员生命健康有很大的危险,所以其储存和输配场所需设置可靠地排风系统。

目录 返回 上节 下节 条文说明


京ICP备10045562号-28 京公网安备110105014475

关闭