发光二极管工厂设计规范 GB51209-2016
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10.4 工艺冷却循环水

10.4.1  工艺设备冷却循环水的水质、水温、水压应根据生产设备要求确定。

10.4.2  工艺冷却循环水系统宜采用开式系统。

10.4.3  工艺冷却循环水系统的管材及配件应根据水质要求确定,不宜采用焊接钢管。

10.4.4  当工艺冷却水系统的水温要求与管道布置的环境温度不同时,管道系统应采取保温措施。

10.4.5  工艺冷却水系统应设置应急备用电源。

10.4.6  工艺冷却水的补水水质应满足工艺设备的要求。

条文说明

10.4.2  本条规定的目的是为了确保不同用水设备的水量、水压得到较好平衡,适用下列情况:工艺用水设备台套数较多时;工艺设备进出水水压要求不同时;工艺用水设备布置在不同建筑层时。

10.4.4  本条规定主要是考虑了管道介质温度对洁净室的影响。当工艺冷却水的水温低于环境温度时,可能产生结露,影响洁净室的湿度;当工艺冷却水的水温高于环境温度时,管道系统会向环境放热,影响洁净室的温度。

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