电子工业废水处理工程设计标准 GB51441-2022
4.3 处理工艺设计
4.3.1 酸碱废水的处理宜符合下列规定：
1 酸碱废水处理系统的反应池不宜少于二段；
2 最终进入酸碱废水处理系统的各股废水宜均匀进入系统；
3 各股废水在进入酸碱废水处理系统时，宜利用废酸碱中和进行预处理。
4.3.2 含氟废水的处理宜符合下列规定：
1 含氟废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 高浓度含氟废水宜逐步适量投入低浓度含氟废水中处理；
3 含氟废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
4 含氟废水处理系统宜设置氟离子在线监测仪并与药剂投加联锁。
4.3.3 含磷废水的处理宜符合下列规定：
1 低浓度含磷废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 高浓度含磷废水宜采用两级化学混凝沉淀法处理；
3 高浓度含磷废水宜逐步适量投入低浓度含磷废水中处理；
4 综合技术经济比较可行时，磷酸废液宜委外综合处理；
5 含磷废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
6 含磷废水处理系统宜设置总磷在线监测仪，并与药剂投加联锁。
4.3.4 CMP废水的处理宜符合下列规定：
1 CMP废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 CMP废水所含的H2O2宜在混凝沉淀处理前单独预处理去除；
3 各股化学性质不同的CMP废水宜分别收集、合并处置。
4.3.5 含氨废水的处理宜符合下列规定：
1 高浓度含氨废水宜采用吹脱-吸收工艺预处理后再进入下一级废水处理系统；
2 高浓度含氨废水吹脱处理系统宜设置加热措施，并设置热回收措施；
3 硫酸铵处置有困难时，高浓度含氨废水可采用气提触媒法处理；
4 低浓度含氨废水宜采用折点氯化法或生物硝化反硝化工艺处置；折点加氯氧化法处理含氨废水时，反应槽内的pH值宜控制在4左右。
4.3.6 含砷废水的处理宜符合下列规定：
1 含砷废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 砷化镓晶圆的研磨切割废水宜先进行固液分离回收，再进入后续处理系统；
3 含砷废水污泥脱水装置宜单独设置。
4.3.7 有机废水的处理宜符合下列规定：
1 当有机废水CODCr浓度大于或等于2000mg/L时，宜采用化学混凝沉淀法、气浮法或厌氧生物处理系统预处理后再进入后续处理系统；
2 当有机废水CODCr浓度小于2000mg/L时，宜采用生物处理工艺；
3 当排水总氮浓度超过排放标准的要求时，宜选择硝化反硝化脱氮工艺。
4.3.8 重金属废水的处理宜符合下列规定：
1 重金属废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 含有高浓度硫酸盐的重金属废水，宜选用NaOH作为pH调节药剂；
3 含有络合剂、螯合剂的重金属废水，宜先进行预处理破络后，再进入重金属废水系统处理；
4 含有H2O2的重金属废水，宜单独收集并去除H2O2后，定量注入重金属废水中合并处理；
5 高浓度重金属废水宜单独收集，对重金属进行回收预处理后，再定量投加到低浓度重金属废水中进行处理；
6 重金属废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
7 重金属废水处理系统宜设置重金属离子在线监测仪并与药剂投加联锁。
4.3.9 含氨络合废水的处理宜符合下列规定：
1 含氨络合废水宜采用硫化物沉淀法、折点氯化法进行预处理；
2 采用硫化物沉淀法处理含氨络合废水时，宜先行处理重金属污染物且不宜与其他重金属废水混合，处理后的含氨络合废水宜对氨氮污染物进行处理；
3 采用硫化物沉淀法处理含氨络合废水时，废水宜在碱性条件下处理，并设计防止过量投加硫化物药剂的技术措施；
4 采用折点氯化法处理含氨络合废水时，宜先行处理氨氮污染物，再汇入重金属废水进行后续处理；
5 当含氨络合废水中重金属浓度大于10g/L时，反应完成后宜直接进入压滤机进行全量过滤，过滤出水后再进入后续处理系统。
4.3.10 印刷电路板化学铜废水的处理宜符合下列规定：
1 化学铜废水宜采用硫酸亚铁法、钙盐法、硼氰化钠法及催化还原法处理；
2 当采用钙盐法处理化学铜废水时，不宜采用碳酸钙作为反应药剂。
4.3.11 印刷电路板显像、去膜废液的处理宜符合下列规定：
1 显像、去膜废液宜采用酸化及固液分离法预处理后再进行后续处理；
2 酸化及固液分离法处理显像、去膜废液时，宜采用机械搅拌方式并投加适量消泡剂；
3 显像废液宜单独收集酸化处理后再与去膜废液合并处置；
4 显像废液采用酸化及固液分离法预处理后，宜采用生化处理工艺进行后续处理。
1 酸碱废水处理系统的反应池不宜少于二段；
2 最终进入酸碱废水处理系统的各股废水宜均匀进入系统；
3 各股废水在进入酸碱废水处理系统时，宜利用废酸碱中和进行预处理。
4.3.2 含氟废水的处理宜符合下列规定：
1 含氟废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 高浓度含氟废水宜逐步适量投入低浓度含氟废水中处理；
3 含氟废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
4 含氟废水处理系统宜设置氟离子在线监测仪并与药剂投加联锁。
4.3.3 含磷废水的处理宜符合下列规定：
1 低浓度含磷废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 高浓度含磷废水宜采用两级化学混凝沉淀法处理；
3 高浓度含磷废水宜逐步适量投入低浓度含磷废水中处理；
4 综合技术经济比较可行时，磷酸废液宜委外综合处理；
5 含磷废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
6 含磷废水处理系统宜设置总磷在线监测仪，并与药剂投加联锁。
4.3.4 CMP废水的处理宜符合下列规定：
1 CMP废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 CMP废水所含的H2O2宜在混凝沉淀处理前单独预处理去除；
3 各股化学性质不同的CMP废水宜分别收集、合并处置。
4.3.5 含氨废水的处理宜符合下列规定：
1 高浓度含氨废水宜采用吹脱-吸收工艺预处理后再进入下一级废水处理系统；
2 高浓度含氨废水吹脱处理系统宜设置加热措施，并设置热回收措施；
3 硫酸铵处置有困难时，高浓度含氨废水可采用气提触媒法处理；
4 低浓度含氨废水宜采用折点氯化法或生物硝化反硝化工艺处置；折点加氯氧化法处理含氨废水时，反应槽内的pH值宜控制在4左右。
4.3.6 含砷废水的处理宜符合下列规定：
1 含砷废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 砷化镓晶圆的研磨切割废水宜先进行固液分离回收，再进入后续处理系统；
3 含砷废水污泥脱水装置宜单独设置。
4.3.7 有机废水的处理宜符合下列规定：
1 当有机废水CODCr浓度大于或等于2000mg/L时，宜采用化学混凝沉淀法、气浮法或厌氧生物处理系统预处理后再进入后续处理系统；
2 当有机废水CODCr浓度小于2000mg/L时，宜采用生物处理工艺；
3 当排水总氮浓度超过排放标准的要求时，宜选择硝化反硝化脱氮工艺。
4.3.8 重金属废水的处理宜符合下列规定：
1 重金属废水宜采用化学混凝沉淀法处理；
2 含有高浓度硫酸盐的重金属废水，宜选用NaOH作为pH调节药剂；
3 含有络合剂、螯合剂的重金属废水，宜先进行预处理破络后，再进入重金属废水系统处理；
4 含有H2O2的重金属废水，宜单独收集并去除H2O2后，定量注入重金属废水中合并处理；
5 高浓度重金属废水宜单独收集，对重金属进行回收预处理后，再定量投加到低浓度重金属废水中进行处理；
6 重金属废水处理系统宜设置污泥回流调理设施；
7 重金属废水处理系统宜设置重金属离子在线监测仪并与药剂投加联锁。
4.3.9 含氨络合废水的处理宜符合下列规定：
1 含氨络合废水宜采用硫化物沉淀法、折点氯化法进行预处理；
2 采用硫化物沉淀法处理含氨络合废水时，宜先行处理重金属污染物且不宜与其他重金属废水混合，处理后的含氨络合废水宜对氨氮污染物进行处理；
3 采用硫化物沉淀法处理含氨络合废水时，废水宜在碱性条件下处理，并设计防止过量投加硫化物药剂的技术措施；
4 采用折点氯化法处理含氨络合废水时，宜先行处理氨氮污染物，再汇入重金属废水进行后续处理；
5 当含氨络合废水中重金属浓度大于10g/L时，反应完成后宜直接进入压滤机进行全量过滤，过滤出水后再进入后续处理系统。
4.3.10 印刷电路板化学铜废水的处理宜符合下列规定：
1 化学铜废水宜采用硫酸亚铁法、钙盐法、硼氰化钠法及催化还原法处理；
2 当采用钙盐法处理化学铜废水时，不宜采用碳酸钙作为反应药剂。
4.3.11 印刷电路板显像、去膜废液的处理宜符合下列规定：
1 显像、去膜废液宜采用酸化及固液分离法预处理后再进行后续处理；
2 酸化及固液分离法处理显像、去膜废液时，宜采用机械搅拌方式并投加适量消泡剂；
3 显像废液宜单独收集酸化处理后再与去膜废液合并处置；
4 显像废液采用酸化及固液分离法预处理后，宜采用生化处理工艺进行后续处理。
条文说明
4.3.1 各股废水均匀进入酸碱废水处理系统，有利于废水之间的相互作用和废水处理操作稳定。如工艺过程中产生废酸废碱，宜利用废酸废碱的中和进行预处理达到有效利用并节约资源的目的。
4.3.2 本条对含氟废水的处理做了规定。
1 含氟废水的处理方法有多种：石灰沉淀法、混凝沉淀法、吸附法、离子交换法和电渗析法。但这些方法都有一定的适用条件并都存在一定的不足，目前国内外常用的处理方法为化学混凝沉淀法。含氟废水的处理一般投加石灰或其他可溶性钙盐和絮凝剂，使氟离子生成氟化钙沉淀而去除。该工艺方法简单、费用低。但如果仅投加石灰或氯化钙，易与水中污染物形成可溶性盐，使废水存在一定量的强电解质，由于盐效应增加了氟化钙的溶解度而降低除氟效果。如果在投加钙盐的基础上联合投加铝盐、磷盐等，处理效果比单纯投加钙盐的效果要好得多。常用絮凝剂为铝盐，铝盐投加到水中后利用Al3＋与F-的络合作用以及铝盐的水解中间产物，最后生成Al（OH）3，通过矾花对氟离子的配体交换、物理吸附和卷扫作用去除水中的氟离子。
2 高浓度含氟废水因浓度过高而反应不充分，因此宜逐步适量投入低浓度含氟废水中进行处理。
4 因药剂的投加量与含氟废水的处理效果息息相关，钙盐的投加量宜与废水中的氟离子浓度相对应，故宜设置氟离子在线监测仪并与药剂投加联锁。
4.3.3 本条对含磷废水的处理做了规定。
1 目前含磷废水的处理主要有生物法和化学法两大类。生物法主要适合处理低浓度及有机态含磷废水。而电子工业主要是无机态含磷废水，通常采用化学混凝沉淀法处理。化学除磷本质上就是物理化学过程，优点是处理效果稳定可靠，操作简单且弹性大，污泥在处置过程中不会重新释放磷，耐冲击负荷的能力也较强。
2 高浓度含磷废水宜采用两级化学混凝沉淀法处理。第一级反应投加聚合氯化铝等絮凝剂，调整pH＝8.5～9.0，第二级反应及沉淀主要采用钙法除磷，钙离子与磷酸根反应生成沉淀。
4 磷酸废液浓度高、处理难度大，处置成本很高且不容易控制和达到要求的处理效果，因此，磷酸废液宜委外综合处理，回收利用。
4.3.4 本条对CMP废水的处理做了规定。
1 CMP废水的处理方法主要是物理化学法，包括化学混凝沉淀法、气浮法、电化学法等。CMP废水采用化学混凝沉淀法是通过投加混凝剂压缩胶粒表面双电层，并起到吸附、架桥和网捕的作用，促使水中胶粒脱稳、絮凝成大颗粒，沉淀后去除。因化学混凝沉淀法应用广泛，技术成熟，处理效果较其他方法好，所以CMP废水宜采用化学混凝沉淀法处理。
2 废水中含H2O2会阻止胶粒絮凝成大颗粒，同时，H2O2分解释放的O2小气泡粘附在絮体颗粒上也影响污泥沉降和分离效果。
3 CMP废水包括含金属或含氧化型物质的CMP废水，宜分别收集，避免在收集管路和罐槽中发生不利的化学反应。
4.3.5 本条对含氨废水的处理做了规定。
1 高浓度含氨废水因NH4-N含量高，采用吹脱-吸收工艺可以去除大部分的NH4-N元素，将其转化为中低浓度含氨废水后再进入下一级废水处理系统进一步处理。
4.3.6 本条对含砷废水的处理做了规定。
1 化学混凝沉淀法是含砷废水的一种主要处理方法，工程应用比较普遍，主要分为砷酸钙法和硫化砷法。
2 因为砷化镓颗粒在水中易水解生成亚砷酸根离子，增加处理难度，所以进行混凝沉淀之前宜尽快过滤除去砷化镓颗粒，分离下来的砷化镓可以回收利用，也有利于资源回收。
3 砷及其化合物毒性较大，会对环境造成污染，污染水体、土壤，影响公民的健康。含砷污泥属于危险固体废弃物，因此含砷废水污泥脱水装置宜单独设置。
4.3.7 不同浓度的有机废水宜浓淡分流并采用针对性的处理方法。
4.3.9 本条对含氨络合废水的处理做了规定。
5 当含氨络合废水中重金属浓度很高时，反应生成的重金属沉淀及絮体浓度也很高，如果用重力沉淀，则很难有效分离悬浮絮体。因此，在反应完成后宜直接进入压滤机进行全量过滤，简单高效。
4.3.10 本条对印刷电路板化学铜废水的处理做了规定。
2 印刷电路板化学铜废水中通常含有乙二胺四乙酸（ED-TA），钙盐法的原理是利用钙盐溶解解离出的钙离子与EDTA螯合，并取代原来被螯合的重金属离子的地位，使重金属离子游离并形成重金属氧化物沉淀而取得较好的去除效果。钙盐法处理效果的好坏与钙盐的溶解度有关。碳酸钙溶解度太低无法产生足够数量的Ca2＋与废液中的EDTA契合，因此处理效果较差。
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