洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
D.2 光度计法
D.2.1 被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
D.2.2 在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
D.2.3 当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶,并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
D.2.4 对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍。当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度宜达到(20~80)μg/L,浓度低于20μg/L会降低检漏灵敏度,高于80μg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有(0.001~100)μg/L的测量范围。
D.2.5 对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0.01%,即当采样探头对准被测过滤器山风面某一点,静止检测时,如测得透过率高于0.01%,即认为该点为漏点。
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