洁净室施工及验收规范 GB50591-2010
D.3 粒子计数器法
D.3.1 被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
D.3.2 当用检漏气溶胶检漏时,检漏方法与光度计法相同。
D.3.3 高效过滤器上游浓度及采样流率应符合表D.3.3的规定。如上游浓度达不到规定要求时应采用适当措施。增加上游浓度。当用大气尘检漏时,可采用短路新风机组或对每一台高效过滤器进风面用气泵引入室外空气等方法。
采样流率为2.83L/min时,采样口面积宜为1.5cm×2cm;采样流率为28.3L/min时,采样口面积宜为2.5cm×4cm;当采用其他尺寸的探头时,应按式D.3.5确定探头扫描速度。长边平行于扫描方向,并与采样管形成不大于60°的锥形连接。
D.3.6 采样过程中应使采样管中微粒的扩散沉积损失和沉降、撞击沉积损失不超过5%。28.3L/min的粒子计数器水平采样管的长度不应超过3m,2.83L/min的粒子计数器水平采样管的长度不应超过0.5m。
D.3.7 扫描检漏时应拆去高效过滤器外的孔板或装饰层,扫描面积应稍有搭接。
D.3.8 按泊松分布和非零检测原则,当单位检测容量中检到小于等于3粒时,95%读数即可为非零读数,即可判断为漏。与单位检测容量的浓度有关的特征数可按表D.3.8执行。
对于满布安装高效过滤器,应对外侧过滤器加挡板后检漏,挡板高度不短于40cm,长度应不小于过滤器侧边长度的1.2倍。
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